真空法氦質(zhì)譜檢漏

采用真空法檢漏時(shí)，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測(cè)量?？吹竭@里大家得注意，氦氣的價(jià)格不菲，進(jìn)行一次氦氣檢漏的費(fèi)用自然不低。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣，可以實(shí)現(xiàn)漏孔的; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來(lái)，在罩內(nèi)充滿(mǎn)一定濃度的氦氣，可以實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。

真空法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，可以，能實(shí)現(xiàn)大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。

真空法的缺點(diǎn)是只能實(shí)現(xiàn)一個(gè)大氣壓差的漏率檢測(cè)，不能準(zhǔn)確反映帶壓被檢產(chǎn)品的真實(shí)泄漏狀態(tài)。

真空法的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3123-2000《氦質(zhì)譜真空檢漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗(yàn)》，主要應(yīng)用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動(dòng)部件、液氫槽車(chē)、環(huán)境模擬設(shè)備等。

氦氣檢漏的原理

大家都知道氣分子內(nèi)部結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，化學(xué)性質(zhì)并不活潑并且密度較小，由于這些特性氦氣不會(huì)，也不容易和其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。因?yàn)檫@些性質(zhì)，所以氦氣經(jīng)常被用來(lái)檢漏。

其實(shí)任何可以感測(cè)氣體分壓之質(zhì)譜儀，均可以作為真空系統(tǒng)漏氣之偵測(cè),通常為分子量較輕的氣體，氦氣滲透漏孔， 的質(zhì)譜測(cè)漏儀，多將質(zhì)普分析器固定在特定質(zhì)量，通常為氦氣的質(zhì)量，以氦氣為漏氣體在欲偵測(cè)處到處噴氦氣，觀察質(zhì)普是否改變，來(lái)辦別是否有漏氣，這是氦氣檢漏的原理。在壓力的作用下，如果這些元件存在漏點(diǎn)，必然會(huì)有氦氣通過(guò)這些小孔進(jìn)入到元件內(nèi)部。

氦氣檢漏是怎樣操作呢？

任何儀器在制作過(guò)程中難免會(huì)遇到密封不嚴(yán)的情況，某些不重要的設(shè)備中輕微的泄露沒(méi)有太大關(guān)系，但是在半導(dǎo)體器件、集成電路等重要電氣設(shè)備及儀器中，良好的密封才能決定儀器的正常使用，所以檢漏十分重要！市面上有各種檢漏儀器，常見(jiàn)的載氣有氮?dú)?、氫氣、氦氣等。氦氣是無(wú)毒無(wú)色無(wú)味的惰性氣體，這就意味著，正常情況下其可以作為介質(zhì)在所有的物體中存在，且不發(fā)生反應(yīng)。氦氣檢漏大家想必都聽(tīng)說(shuō)過(guò)，那么氦氣檢漏是怎樣的呢？氦氣檢漏是如何操作的呢？

在設(shè)備和廠房當(dāng)中，常常有一些管道等連接的部位，這些地方的封接處可能存在肉眼難以察覺(jué)的細(xì)小孔洞，在使用時(shí)如果不注意就會(huì)導(dǎo)致泄露，從而造成事故。但是在管殼的封接處或者引線(xiàn)接頭處往往會(huì)因?yàn)楦鞣N原因而產(chǎn)生一些肉眼難以發(fā)現(xiàn)的小洞，所以在元器件封裝之后，就需要采取某些方法來(lái)檢測(cè)這些小洞的存在與否。在這 些地方氦氣怎么檢漏？利用氦氣是比氫氣小的第二輕的惰性氣體，氦氣在自然狀態(tài)下會(huì)向上垂直擴(kuò)散，在被檢測(cè)的管道中注入氦氣。如果這些設(shè)備有漏點(diǎn)，那么我們就能通過(guò)監(jiān)測(cè)儀器探測(cè)到有氦氣在管道外部。這就是管道中氦氣檢漏的方法。

對(duì)于一些的細(xì)小電子元件，氦氣怎么檢漏呢？將要檢測(cè)的元件放入充滿(mǎn)氦氣的容器中并且加壓。氦氣在在半導(dǎo)體中的檢漏作用為了防止半導(dǎo)體器件、集成電路等元器件的表面因玷污水汽等雜質(zhì)而導(dǎo)致性能退化，就必須采用管殼來(lái)密封。在壓力的作用下，如果這些元件存在漏點(diǎn)，必然會(huì)有氦氣通過(guò) 這些小孔進(jìn)入到元件內(nèi)部。使用壓縮空氣將元件表面的少量殘留氦氣吹掃干凈之后，再利用質(zhì)譜儀檢測(cè)元件表面泄露的氦氣?？吹竭@里大家得注意，氦氣的價(jià)格不菲，進(jìn)行一次氦氣檢漏的費(fèi)用自然不低。

氦氣怎么檢漏，氦氣檢漏就是利用了氦氣分子小能夠輕易進(jìn)入那些不被肉眼察覺(jué)的孔縫中，利用監(jiān)測(cè)儀器就能探測(cè)到孔縫中泄露出的氦氣。正壓法的缺點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度較低，檢測(cè)結(jié)果不確定度大，受測(cè)量環(huán)境條件影響大。檢測(cè)時(shí)首先探測(cè)到氦氣的 ，得到氦氣的水含量，再利用色譜儀計(jì)算出氫氣、氧氣、C02氣體等雜質(zhì)。氦檢漏有兩種工藝，一種是背壓法，另一種則是真空箱法。