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溫濕度
潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。電子行業(yè)無(wú)塵車間的特點(diǎn)電子行業(yè)無(wú)塵車間是精密電子產(chǎn)品生產(chǎn)存放的地方,是生產(chǎn)過(guò)程中的重要場(chǎng)所。由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別 是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過(guò)25度。
對(duì)于各種凈化設(shè)備方面的需求也需要做到以下幾點(diǎn):
1.工藝設(shè)備的設(shè)計(jì)和排熱措施應(yīng)密切結(jié)合,排熱以發(fā)展水冷為主。
2.對(duì)各種凈化單元結(jié)構(gòu)(布置和尺寸)應(yīng)加以改進(jìn),使之向有利于減小體積,提高分配均勻性,而又不增加阻力的方向發(fā)展。
3.在不影響噪聲限度的前提下,提高風(fēng)機(jī)壓頭有利于延長(zhǎng)過(guò)濾器的使用壽命,此外風(fēng)機(jī)應(yīng)能夠變速運(yùn)行?! ?
4.無(wú)隔板過(guò)濾器和新型空氣分配裝置可構(gòu)成即節(jié)能又靈活的無(wú)塵車間系統(tǒng)。
5.改進(jìn)排風(fēng)柜的構(gòu)造,既便于隨時(shí)調(diào)節(jié)風(fēng)量,又要方便操作。
伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)高速發(fā)展,無(wú)塵車間凈化行業(yè)的企業(yè)也如雨后春筍一般迅速的成長(zhǎng)起來(lái),正因?yàn)闊o(wú)塵車間凈化工程就是環(huán)保行業(yè),所以更加相信該行業(yè)是一個(gè)未來(lái)行業(yè)發(fā)展的趨勢(shì)。
電子行業(yè)無(wú)塵車間的結(jié)構(gòu)在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中,環(huán)境溫濕度、潔凈度及壓力梯度會(huì)對(duì)電子產(chǎn)品的質(zhì)量產(chǎn)生較大的影響。因此,電子行業(yè)無(wú)塵車間要具備良好的絕熱性與密閉性,這也反應(yīng)在電子行業(yè)無(wú)塵車間的結(jié)構(gòu)上。戴口罩時(shí),應(yīng)將口罩戴在鼻子之上,以將口鼻孔蓋住為原則,以免呼吸時(shí)污染芯片。首先,電子行業(yè)無(wú)塵車間的結(jié)構(gòu)一定要盡可能的緊密,結(jié)構(gòu)中的間隙會(huì)為空氣對(duì)流提供便利,影響電子行業(yè)無(wú)塵車間內(nèi)的溫度及壓力梯度控制;其次,電子行業(yè)無(wú)塵車間的選材和結(jié)構(gòu)要盡可能達(dá)到良好的絕熱效果,比如以聚氨酯、鋁蜂窩、聚苯、紙蜂窩等作為夾心層的結(jié)構(gòu),可以起到很好的絕熱效果。