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100級(jí):是常用的凈化工程,除了對(duì)空氣中的塵埃數(shù)有要求,對(duì)空氣中細(xì)菌的濃度也有明確要求。一般用于醫(yī)行業(yè)進(jìn)行無(wú)菌制造,例如制造臨床用于植入人體內(nèi)的物品,藥生產(chǎn)。醫(yī)學(xué)科學(xué)實(shí)驗(yàn)也在此環(huán)境中,包括實(shí)驗(yàn)動(dòng)物飼養(yǎng)環(huán)境。1000級(jí) 一般只對(duì)塵埃濃度做要求,用于光學(xué)器件,儀器等高精儀器等10000級(jí),用于液壓設(shè)備的生產(chǎn),和一些食品飲料的生產(chǎn)。100000級(jí),這個(gè)級(jí)別比較的低,對(duì)凈化度要求不是很高,主要在印刷廠,包裝廠等。排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等,凈化車間設(shè)計(jì)時(shí),要根據(jù)實(shí)際情況選擇。
1000級(jí) 一般只對(duì)塵埃濃度做要求,用于光學(xué)器件,儀器等高精儀器等10000級(jí),用于液壓設(shè)備的生產(chǎn),和一些食品飲料的生產(chǎn)。100000級(jí),這個(gè)級(jí)別比較的低,對(duì)凈化度要求不是很高,主要在印刷廠,包裝廠等。10級(jí):主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級(jí),并且我國(guó)半導(dǎo)體技術(shù)也在發(fā)展之中,在未來(lái)對(duì)潔凈度的要求更加高。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過(guò)25度。
凈化工程的一般施工程序:粉塵作業(yè),無(wú)塵作業(yè)后,不允許交叉作業(yè)。 否則會(huì)影響項(xiàng)目的質(zhì)量。 也就是說(shuō),在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后,可以進(jìn)行無(wú)塵操作。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計(jì),工程設(shè)計(jì)水平的好與壞將直接關(guān)系到整個(gè)工程之后的施工,還會(huì)影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。