激光干涉儀介紹

激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。

激光干涉儀的應(yīng)用范圍

（1）幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。

（2）位置精度的檢測及其自動補(bǔ)償 可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機(jī)器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償，比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時可大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點數(shù)，使機(jī)床達(dá)到較高的精度，另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識。

1 全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設(shè)計緊湊、體積小，測量機(jī)床時不需三角架

2. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時間

3、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機(jī)床動態(tài)特性等。

4、激光干涉儀的光源——激光，具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。

5、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。

激光干涉儀的維護(hù)介紹

1、儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)，防止振動，儀器搬動 時，應(yīng)托住底座，以防導(dǎo)軌變形。 　

 2、光學(xué)零件不用時，應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi)，以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精混合液輕拭。

3、傳動部件應(yīng)有良好的潤滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應(yīng)用T5精密儀表油潤滑。

4、使用時，各調(diào)整部位用力要適當(dāng)，不要強(qiáng)旋、硬扳。

5、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態(tài)。

6、 經(jīng)過精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉(zhuǎn)動。