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真空鍍膜機(jī)的真空室該如何設(shè)計(jì)呢?
真空鍍膜機(jī)相比大家都存有疑惑,今天來討論一下的是關(guān)于真空鍍膜設(shè)備真空室的設(shè)計(jì)問題,要是您有興趣了解的話可以和寶瑞鈦金一起來看看下面的內(nèi)容。
真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或者化學(xué)方法,使物體表面獲取所需膜體,真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用方法的不同科分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等,這次分析的鍍膜設(shè)備采用的是磁控濺射鍍膜。
真空室是真空設(shè)備的一個(gè)主要組成部位,真空鍍膜設(shè)備真空室設(shè)計(jì)主要考慮的就是密封性和可靠性,結(jié)構(gòu)必須要合理,真空設(shè)備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進(jìn)行的,材料對(duì)真空度的影響要小,設(shè)計(jì)不能馬虎,要注意一些問題。
真空磁控濺射鍍膜機(jī)的電氣控制系統(tǒng)介紹
真空磁控濺射鍍膜機(jī)的電氣控制系統(tǒng)按位置分為控制柜、變壓器組和操作臺(tái)三個(gè)主要部分。設(shè)備所有功能的控制元器件包括可編程PLC、變頻器、調(diào)壓模塊等都裝在控制柜里,控制柜的正面安裝有電阻、電離復(fù)合真空計(jì),安裝有增壓泵、擴(kuò)散泵的加熱電流表以及三相電源的指示燈、報(bào)警指示燈、緊急停止開關(guān)。
變壓器組安裝在真空罐的下面,其輸出端正極直接與對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)電極棒連接,輸出端負(fù)極并接后再與蒸發(fā)負(fù)極連接。
操作臺(tái)安放在真空罐的前方、觀察窗的下方,觸摸屏、各部件的操作控制按鈕、旋鈕或開關(guān)都設(shè)在操作臺(tái)的面板上。
觸摸屏位于操作面板的左上部,卷繞系統(tǒng)參數(shù)包括收放卷的張力、卷徑、機(jī)器的運(yùn)行速度等的設(shè)置和數(shù)據(jù)顯示、真空系統(tǒng)的運(yùn)行指示都在觸摸屏中進(jìn)行。
操作面板的右上部是蒸發(fā)源加熱功率調(diào)節(jié)鈕和電流表,可以調(diào)節(jié)和顯示每組蒸發(fā)源的功率。
操作面板的下部是功能控制按鈕或開關(guān),包括控制電源總開關(guān)、卷繞車進(jìn)退、擺臂進(jìn)退、彎輥正反轉(zhuǎn)、送絲開關(guān)及速度快慢、蓋板開關(guān)、系統(tǒng)運(yùn)行的控制模式選擇等。
真空磁控濺射鍍膜機(jī)用戶設(shè)置具體設(shè)置
按“用戶設(shè)置”鈕進(jìn)入真空磁控濺射鍍膜機(jī)的用戶設(shè)置界面,里面的數(shù)值除了時(shí)間參數(shù)可以根據(jù)機(jī)器運(yùn)行情況作適當(dāng)調(diào)整外,其余參數(shù)經(jīng)調(diào)試設(shè)定后一般不作修改。各參數(shù)功能如下:
主輥加速時(shí)間設(shè)定:用于設(shè)定主輥從低速度0m/min加速至高速度400m/min的所需時(shí)間。單位:5秒。當(dāng)輸入數(shù)值為4時(shí),加速時(shí)間是20秒。
主輥減速時(shí)間設(shè)定:用于設(shè)定主輥從高速度400m/min減速至低速度0m/min的所需時(shí)間。單位:5秒。
收卷張力零速保持:用于設(shè)定零速張力保持時(shí),收卷的力矩輸出值。
放卷張力零速保持:用于設(shè)定零速張力保持時(shí),放卷的力矩輸出值。
編碼器輥直徑輸入:此數(shù)值為編碼器輥直徑的實(shí)際測量值。此數(shù)值必須正確無誤,以確保設(shè)備運(yùn)行過程的穩(wěn)定性。
放卷初徑誤差值正設(shè)定:用于設(shè)定卷繞系統(tǒng)啟動(dòng)運(yùn)行時(shí),“放卷初始卷徑輸入”值允許高于實(shí)際測量值的誤差值。
放卷初徑誤差值負(fù)設(shè)定:用于設(shè)定卷繞系統(tǒng)啟動(dòng)運(yùn)行時(shí),“放卷初始卷徑輸入”值允許低于實(shí)際測量值的誤差值。
擺輥動(dòng)作時(shí)間設(shè)定:用于設(shè)定擺臂在自動(dòng)控制模式時(shí),擺輥電眼檢測到信號(hào)后擺臂自動(dòng)往外退的動(dòng)作時(shí)間。
真空磁控濺射鍍膜機(jī)機(jī)械泵的分類
1.機(jī)械泵的分類:機(jī)械泵有很多種,常用的有滑閥式(此首要使用于大型設(shè)備)、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式(此現(xiàn)在使用廣泛,這篇文章首要介紹)四種類型。
2.機(jī)械泵是從大氣開端作業(yè)的,它的首要參數(shù)有極限真空,抽氣速率,此為規(guī)劃與選用機(jī)械泵的重要依據(jù)。單級(jí)泵能夠?qū)⑷萜鲝拇髿獬榈?.0*10-1PA的極限真空,雙級(jí)機(jī)械泵能夠?qū)⑷萜鲝拇髿獬榈?.7*10-2帕,甚至更高。
抽氣速率,是指旋片泵按額外轉(zhuǎn)數(shù)工作時(shí),單位時(shí)間內(nèi)所能排出氣體的體積,能夠用下公式核算:Sth=2nVs=2nfsLfs表明吸氣完畢時(shí)空腔截面積,L表明空腔長度,系數(shù)表明轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一星期有兩次排氣進(jìn)程,Vs表明當(dāng)轉(zhuǎn)子處于水平位置的時(shí)分,吸氣完畢,此刻空腔內(nèi)的體積大,轉(zhuǎn)速為n。
機(jī)械泵排氣的效果還與電機(jī)的轉(zhuǎn)速及皮帶的松緊度有聯(lián)系,當(dāng)電機(jī)的皮帶比較松,電機(jī)轉(zhuǎn)速很慢的時(shí)分,機(jī)械泵的排氣效果也會(huì)變差,所以要常常養(yǎng)護(hù),點(diǎn)檢,機(jī)械泵油的密封效果也需求常常點(diǎn)檢,油過少,達(dá)不到密封效果,泵內(nèi)會(huì)漏氣,油過多,把吸氣孔阻塞,無法吸氣和排氣,通常,在油位在線下0.5厘米即可。
3.機(jī)械泵常常被用來抽除枯燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有性和腐蝕性的氣體,機(jī)械泵通常被用來抽除性的氣體,但是對(duì)水氣沒有好的效果,所以它不能抽除水氣。
旋片泵中起首要效果的部件是定子、轉(zhuǎn)子等,轉(zhuǎn)子在定子里面但與定子不一樣心軸,象兩個(gè)內(nèi)切圓,轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩片彈片,兩彈片中心裝有繃簧,確保了彈片緊緊貼在定子的內(nèi)壁。