光波超精密——直線氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家

獨立的具有隔、防震功能的整體加強的鋼骨水泥及鋪設(shè)底沙基的設(shè)備支承基礎(chǔ)（建議的結(jié)構(gòu)形式）。

地基振幅要求：8 微米，（0～6）Hz；3 微米，（6～50）Hz；8 微米，大于 50Hz。

設(shè)備支承地基的定位安裝面的水平等高差要求：≤2 mm。

地基的實施結(jié)構(gòu)形式：由建筑設(shè)計人員根據(jù)精密導(dǎo)軌所在設(shè)備安裝的地質(zhì)條件及必需保持的穩(wěn)定性精度的要求進行設(shè)計和建造。

注意：如果您的測量設(shè)備周圍有大的震源，請根據(jù)地基圖紙準備地基。震源指所有可能對地基產(chǎn)生振動的影響源，含大的加工機床，磨床，沖床，交通要道等。

光波超精密技術(shù)研究院——直線氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家

氣浮導(dǎo)軌基于空氣軸承的基本原理，實現(xiàn)無摩擦和無振動的平滑移動。它具有運動精度高、清潔無污染等特點。同時還具有誤差均化作用，因而可用比較低的制造精度來獲得較高的導(dǎo)向精度。氣浮導(dǎo)軌在測量儀器、精密機械中得到了廣泛的應(yīng)用。

大理石氣浮導(dǎo)軌對材料的要求

大理石氣浮導(dǎo)軌的制作采用了是空氣靜壓zhou軸承技術(shù),因此它具有軸/徑向跳動小、重復(fù)定位精度高、加載驅(qū)動力小、能在高轉(zhuǎn)速下平穩(wěn)工作等特性.為了保證氣浮導(dǎo)軌具備這些性能,在選用制作材料時要求它具有以下特征:

1.導(dǎo)熱性要好,隨時間及空間改變,溫度隨之改變進而造成構(gòu)件內(nèi)部的溫度梯度,引起機器結(jié)構(gòu)的扭轉(zhuǎn)和彎曲;

2.熱膨脹系數(shù)要小,避免在溫度-變化下產(chǎn)生過大的伸長縮短;

3.要具有比較大的彈性,避免花崗石氣浮導(dǎo)軌在受力后出現(xiàn)較大的變形;

4.要有著較高的硬度及耐研磨性,保證在加工及使用中都不會輕易劃傷、磨損;

5.具有較高的強度,在①定的力量范圍內(nèi)不易斷裂;

6.對于運動部分的材料,在密度上要小,保證由于測量機的高速、高加速運動而產(chǎn)生的測量機慣性力不會造成損傷;

7.考慮材料吸水率小,以免受潮變形(質(zhì)量差的花崗石,由于吸水,足以引起微米級的變形);

8.工藝性好,易于加工,成本要低.

作為超精密測量、超精密加工和半導(dǎo)體光刻等領(lǐng)域的重要應(yīng)用,花崗石氣浮導(dǎo)軌的材料具備上述性能才能在使用中正常發(fā)揮作用.

直線導(dǎo)軌系統(tǒng)是平面導(dǎo)軌和直線滾柱導(dǎo)軌的組合，采用滾柱安裝在平行導(dǎo)軌上，以滾柱代替鋼球支撐機床運動部件。具有接觸面積大，負載量大，靈敏度高的優(yōu)點。

另一種在機床上經(jīng)常使用的導(dǎo)軌形式是 V形導(dǎo)軌(燕尾槽)，通常用于機床運動部件的定位。舉例來說：位于車削中心的尾架，導(dǎo)軌系統(tǒng)可使尾架在頂部移動或移動到所需的位置以支撐被加工的零件，然后快速夾持。

沒有比精度、剛度和壽命更令機床制造商擔心的了。對于導(dǎo)向系統(tǒng)的研究方法是不夠的，至少在機床加工技術(shù)方面沒有把它放在重要位置，在機床樣品、宣傳廣告上，吸引人的技術(shù)參數(shù)是：主軸轉(zhuǎn)速、進給速度、換刀時間和快進給速度。具體要求請建筑設(shè)計人員根據(jù)長距離精密計量及校準防震的通用要求設(shè)計。這些參數(shù)對機床的工作性能當然非常重要。而導(dǎo)軌則為實現(xiàn)機床的功能提供了可靠的依據(jù)。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——直線氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家

導(dǎo)軌由金屬或其它材料制作的槽或脊，可經(jīng)受、穩(wěn)定、引導(dǎo)移動裝置或設(shè)備并減少其摩擦的一種機械配件。導(dǎo)軌表面上的縱向槽或脊，用來引導(dǎo)、穩(wěn)定設(shè)備組件、機器設(shè)備、儀器設(shè)備等。對超精密機床的定位精度和運動速度進行研究，已成為當前研究的熱點[4-6]。導(dǎo)軌又稱滑軌、線性導(dǎo)軌、線性滑軌，用來直線往復(fù)運動場合，擁有比直線軸承更高的額定負載， 另外還可以承受一些的扭矩，可在高負載的情況下完成高精度的直線運動。

制作精良的石料構(gòu)件，也干了不少導(dǎo)軌。但是多為氣浮導(dǎo)軌，靜壓導(dǎo)軌較少。當負荷一定時，氣動靜壓導(dǎo)軌和軌道之間自動保持相應(yīng)的氣膜厚度，使承載力和負荷平衡，終實現(xiàn)氣動導(dǎo)軌的重量平衡。組裝前，精度一般能達到3、5微米左右，因為加載后精度肯定會發(fā)生變化。加工后再組裝研配，直線度可達到1微米以內(nèi)，扭曲度可達到1微米以內(nèi)，平行度可達到1微米以內(nèi)。刮除時不能破壞產(chǎn)品的度。

可調(diào)性是直線滑動導(dǎo)軌特有的優(yōu)點。依據(jù)導(dǎo)軌的使用情況，直線滑行導(dǎo)軌系統(tǒng)都將配備可調(diào)邊，有一個或多個。因為運動部件要沿直線導(dǎo)軌的側(cè)向運動，必須保證運動部件與導(dǎo)軌的側(cè)向緊密接觸，所以導(dǎo)軌要有可調(diào)節(jié)功能。

在移動部件與導(dǎo)軌接觸面相對的一側(cè)放置斜鐵是的調(diào)節(jié)方法。圓錐條狀塊狀鐵塊。若滑動件或?qū)к壞p，接觸面之間產(chǎn)生間隙，可通過調(diào)整傾斜鐵片，補償導(dǎo)軌，消除運動件與導(dǎo)軌之間的間隙。

機床廠已開發(fā)出斜鐵自動調(diào)節(jié)的專利技術(shù)，并被廣泛采用。這種技術(shù)的基本原理是，當移動部件或?qū)к壪到y(tǒng)磨損時，使斜鐵保持固定的彈簧壓力，斜鐵能自動消除兩者之間的間隙。