光波超精密——單軸靜壓氣浮導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌的作用：是保證機(jī)器運(yùn)行平穩(wěn)、精度高的關(guān)鍵。

氣浮導(dǎo)軌類型：

一、氣浮導(dǎo)軌

二、直線球?qū)к?

三、行狀氣浮導(dǎo)軌：1)矩形導(dǎo)軌2)三角形導(dǎo)軌3)燕尾式導(dǎo)軌

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——單軸靜壓氣浮導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌工作原理：氣浮導(dǎo)軌以氣浮軸承為核心。采用氣體軸承小孔r1節(jié)流形成高壓氣體腔體P0，在導(dǎo)軌與氣體軸承之間形成具有一定承載能力的剛性薄膜。

氣體軸承的性能要求：承載能力，承載剛性(承載力變化時(shí)承載力每改變一微米)，氣體消耗，抗氣振能力。對(duì)于超高精度測(cè)量機(jī)來(lái)說，氣浮間隙和氣腔壓力的穩(wěn)定至關(guān)重要。

氣浮導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)：具有不磨、不磨的特點(diǎn)，由于勻差作用，局部運(yùn)動(dòng)直線度小，角擺動(dòng)能小，測(cè)量機(jī)一般采用氣浮導(dǎo)軌。

光波超精密技術(shù)研究院——單軸靜壓氣浮導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌氣膜的厚度大于兩個(gè)摩擦面的幾何不規(guī)則度，在氣膜中形成純流體摩擦其摩擦阻力完全為氣體的粘性所致.由于氣浮導(dǎo)軌無(wú)固體摩擦，因而具有可靠、長(zhǎng)壽命、以及摩擦系數(shù)極i小等特點(diǎn)，其傳動(dòng)效率i高，速度適應(yīng)性好，且由于氣體的可壓縮性和流動(dòng)性，因而具有誤差均化作用，能保持一定的精度.氣浮導(dǎo)軌的承載能力、氣腔內(nèi)壓力分布及承載面積與氣腔內(nèi)壓力有關(guān)。

測(cè)量機(jī)的氣浮導(dǎo)軌(氣墊)按其作用可分為承載式氣墊、導(dǎo)向式氣墊和壓向式氣墊.圖3為 X向?qū)к墯鈮|分布(俯視圖). X向?qū)к墴o(wú)驅(qū)動(dòng)側(cè)有4個(gè)氣墊，上下各2個(gè).驅(qū)動(dòng)側(cè)有6個(gè)氣墊，其中①、②、③是承載式氣墊，依靠它們來(lái)承受整個(gè)移動(dòng)橋的重量，并保持一定的工作間隙.當(dāng)移動(dòng)橋沿 X向移動(dòng)時(shí)，它們使橋框平行于 XY平面運(yùn)動(dòng)，即限制了 Z向直線運(yùn)動(dòng)和繞 X、 Y軸轉(zhuǎn)動(dòng).④、⑤是引導(dǎo)式氣墊，限制了橋框繞 Z軸的直線度運(yùn)動(dòng)誤差和旋轉(zhuǎn).⑥是預(yù)緊性氣墊，使氣墊④、⑤在導(dǎo)軌間有一定的預(yù)緊力.

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——單軸靜壓氣浮導(dǎo)軌

直線氣浮導(dǎo)軌提供了一種非接觸式空氣軸承，可以代替?zhèn)鹘y(tǒng)的軸承式滑動(dòng)。由于采用了一體化的系統(tǒng)封裝，線性空氣滑軌由鋁多孔碳軸承(“平臺(tái)”)和精密鋁導(dǎo)軌組成。

線型氣動(dòng)滑塊具有已獲專利的氣動(dòng)軸承設(shè)計(jì)，即多孔介質(zhì)技術(shù)?，可以通過在軸承表面形成薄而堅(jiān)硬的氣層來(lái)消除摩擦。碳素的自然滲透能力保證了空氣的均勻流動(dòng)。這一獨(dú)特的設(shè)計(jì)提高了精度和操作效率，并在氣源失靈時(shí)提供了堅(jiān)固、抗碰撞的設(shè)計(jì)。

滾動(dòng)導(dǎo)軌阻尼小而容易引起超調(diào)或振蕩，剛度低，制造困難，對(duì)臟污和軌面誤差較敏感。滾動(dòng)導(dǎo)軌多用于光學(xué)機(jī)械、精密儀器、數(shù)控機(jī)床、紡織機(jī)械等。液體靜壓導(dǎo)軌、氣浮導(dǎo)軌和磁浮導(dǎo)軌的動(dòng)軌和定軌之間存在流體，摩擦更小，幾乎沒有磨損，無(wú)爬行現(xiàn)象，但是剛度低，阻尼小，設(shè)計(jì)、制造和運(yùn)行控制較復(fù)雜。滾動(dòng)導(dǎo)軌按結(jié)構(gòu)可將導(dǎo)軌分為開式導(dǎo)軌和閉式導(dǎo)軌。開式導(dǎo)軌必須借助外力，例如自身重力，才能保證動(dòng)軌與定軌的軌面正確接觸，這種導(dǎo)軌承受軌面正壓力的能力較大，承受偏載和傾覆力矩的能力較差。閉式導(dǎo)軌依靠本身的截面形狀保證軌面的正確接觸，承受偏載和傾覆力矩的能力較強(qiáng)，例如燕尾形導(dǎo)軌。影響導(dǎo)軌導(dǎo)向精度的主要因素有：直線度、兩個(gè)軌面的平行度、軌面粗糙度、耐磨性能、剛度、潤(rùn)滑措施等。

現(xiàn)有的液體靜壓導(dǎo)軌一般由液壓供油裝置、動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置、導(dǎo)軌、滑塊，靜壓油腔等組成。當(dāng)導(dǎo)軌工作時(shí)，首先由液壓供油裝置將壓力油輸入至靜壓油腔中，在壓力油的作用下將滑塊從導(dǎo)軌上浮起，從而在滑塊與導(dǎo)軌之間充滿一層液體薄膜，使得導(dǎo)軌與滑塊間的接觸狀態(tài)由滑動(dòng)摩擦變?yōu)榧円后w摩擦，極大的減小了滑塊運(yùn)動(dòng)時(shí)的摩擦阻力。