真空設(shè)備檢漏

北京科儀創(chuàng)新真空專注氣密性檢測設(shè)備研發(fā)，生產(chǎn)、銷售20年。由于氫分子移動速度要高于其他分子，因此使用安全的低濃度氫氣作為示蹤氣體，可以有著更快的響應(yīng)速度和更好的檢漏精度。目前氦氣資源的匱乏。在市場上氦氣的價格一直居高不下。大大增加企業(yè)生產(chǎn)檢漏的運營成本。2012年北京科儀創(chuàng)新真空全球首推氫氣檢漏系統(tǒng)。在我國氫氣制備工藝成熟。價格便宜。詳細(xì)請咨詢圖片上的電話聯(lián)系獲取詳細(xì)技術(shù)資料。

水壓法

對壓力容器或密封裝置進(jìn)行試驗時，先將容器或密封裝置內(nèi)部裝滿水，再用水泵向里注水，觀察設(shè)備或密封裝置周圍有無水漏出。該法的靈敏度與被試驗物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點與檢漏器（探頭）間的距離等因素有關(guān)。檢漏時必須耐心等待，直至水泄漏出來。因此，只能抽象地表示靈敏度的高低。根據(jù)被檢物表面是否有水滲出，很容易判斷出泄漏點。但是，對于結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜的設(shè)備，肉眼可能無法直接觀察到泄漏點。只要水壓不變，泄漏率大小就不會發(fā)生很大變化，因而可以獲得較為一致的結(jié)果。當(dāng)然由于檢漏人員的觀測技巧不同，檢測結(jié)果也不會完全相同。除水泵外，水壓法檢漏無需大型、貴重設(shè)備，因而很經(jīng)濟(jì)。

真空設(shè)備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對應(yīng)

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個空間。但是，以氦氣作為示漏氣體，也有一些不足之處，例如橡膠、塑料等有機(jī)材料常常會吸收氦氣，在吸收后慢慢地釋放出來。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?

這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。

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氦質(zhì)譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。至少要在10-3mbar以下，空氣的流動才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。而對氦的檢測則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測氦的專用質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。質(zhì)譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。

一個真空系統(tǒng)(或容器)要求做到絕dui不漏氣是不現(xiàn)實的，也是沒有必要的，所以就要根據(jù)真空系統(tǒng)實際應(yīng)用的具體條件，對漏率指標(biāo)提出合理的要求，只要漏孔的漏率已足夠小，使得平衡壓強(qiáng)低于真空系統(tǒng)工作所需的壓強(qiáng)，這些漏孔就是允許的。而對氦的檢測則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測氦的專用質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。真空系統(tǒng)正常工作所能允許的做大漏氣量，稱da允許漏率，簡稱允許漏率。此值不僅是設(shè)計真空系統(tǒng)的一項主要指標(biāo)，也是檢漏的依據(jù)。

如果已知允許的總氣載，而沒有具體指明究竟有多大，那么，在設(shè)計合理的前提下。da允許漏率Q漏=0.1Q總，不同真空系統(tǒng)所允許的總漏率也不同。

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