24um線性膨脹，所以必須有±0。1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

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潔凈廠房“潔凈概念”的核心潔凈廠房“潔凈概念”的核心是控制塵埃。潔凈廠房從設(shè)計(jì)開(kāi)始，到建筑、裝修，以及空氣凈化、氣流組織、人員凈化等要素都圍繞這個(gè)核心。潔凈廠房保潔也離不開(kāi)這個(gè)核心。潔凈廠房保潔技術(shù)潔凈廠房的建設(shè)雖然對(duì)塵?？刂朴辛撕芨叩谋Ｕ?，但是，建筑裝修材料、設(shè)施設(shè)備、生產(chǎn)工藝、人員都會(huì)不同程度的發(fā)塵和塵埃積聚，尤其是10000級(jí)、100000級(jí)潔凈廠房(因建造成本限制)。

對(duì)無(wú)塵室C/R而言，較嚴(yán)格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問(wèn)題，對(duì)材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級(jí)。在應(yīng)用力面、天花板、地板及墻壁三者之中很重要的為天花板，其包含HEPA及ULPA等濾網(wǎng)，其可過(guò)濾掉房間的微粒子，且其常會(huì)因各個(gè)不同的需要，便其分開(kāi)來(lái)，供應(yīng)各個(gè)不同區(qū)域的小房間，曾有人說(shuō)：若建造之預(yù)算因某種原因被限制，除了少數(shù)的小錢外，其天花板將趨于更貴的地步，其實(shí)天花板是一個(gè)頗復(fù)雜的系統(tǒng)其必須嚴(yán)格地過(guò)濾粒子，故其設(shè)計(jì)必須準(zhǔn)確。

車間的設(shè)計(jì)是綜合考慮空氣凈化系統(tǒng)的布置、流型的選擇和管道系統(tǒng)的布置等，進(jìn)行建筑物平面和斷面的設(shè)計(jì)，并在工藝步驟的基礎(chǔ)上，正確處理潔凈室與非潔凈室和不同潔凈室之間的關(guān)系，使要求潔凈度高、潔凈度要求低的房間處于正壓狀態(tài)，提高氣密性。還要注意建筑物內(nèi)部的噪聲控制，隔離外部噪聲干擾，注意防火，以及緊急情況下人員的安全疏散。人員和材料入口應(yīng)分開(kāi)設(shè)置，以避免人員和物流線之間的往返。純化流線應(yīng)清晰，短而且經(jīng)過(guò)反純化。