層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無塵室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用，一般其無塵室等級(jí)為Class 1~100。

   其型式可分為二種：

   ⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，灰塵隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

   優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

   ⑵垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。

   優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

   缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。

     復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易；(2)潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室，末級(jí)過濾器滿布率100%時(shí)，對(duì)大的系統(tǒng)采用FFU，當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的。 B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

　 若能徹底實(shí)施“不攜入”技術(shù)，無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺(tái)的掣動(dòng)，在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。控制氣流可防止微粒子累積，但對(duì)于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會(huì)使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對(duì)于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn)行除電。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到小限度應(yīng)采取以下對(duì)策：減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài)。