空氣中的主要成分是氮和氧，利用環(huán)境溫度下，空氣中的氮氣和氧氣在沸石分子篩(ZMS)上的吸附性能不同(氧氣能通過而氮氣被吸附)，設(shè)計適當(dāng)?shù)墓に囘^程，而使氮和氧分離得到氧氣。普通工業(yè)制氧機采用國產(chǎn)壓縮機，皮碗壽命較短，氣體流量也較小，直接影響整機的使用壽命。氮氣在沸石分子篩上的吸附能力比氧氣強(氮與分子篩表面離子的作用力強)，當(dāng)空氣在加壓狀態(tài)下通過裝有沸石分子篩吸附劑的吸附床時，氮氣被分子篩吸附，氧氣因吸附較少，在氣相中得到富集并流出吸附床，使氧氣和氮氣分離獲得氧氣

均壓完畢后，緊縮空氣經(jīng)過空氣進氣閥、右進氣閥psa制氮裝置進入右吸附塔，緊縮空氣中的氮分子被沸石分子篩吸附，富集的氧氣經(jīng)過右產(chǎn)氣閥、氧氣產(chǎn)氣閥進入氧氣儲罐，這個進程稱之為右吸，持續(xù)時刻為幾十秒。一起左吸附塔中沸石分子篩吸附的氧氣經(jīng)過左排氣閥釋放回大氣傍邊，此進程稱之為解吸。VPSA制氧設(shè)備流程比較簡單，主要設(shè)備有鼓風(fēng)機、吸附塔和一些閥門，而深冷制氧機流程復(fù)雜，主要設(shè)備包括空壓機、過濾器、膨脹機、精餾塔、凈化裝置、一組換熱器等許多裝置。     
  反之左塔吸附時右塔一起也在解吸。為使分子篩中psa制氧裝置釋放出的氮氣徹底排放到大氣中，氧氣經(jīng)過一個常開的反吹閥吹掃正在解吸的吸附塔，把塔內(nèi)的氮氣吹出吸附塔。這個進程稱之為反吹，它與解吸是一起進行的。右吸完畢后，進入均壓進程，再切換到左吸進程，一向循進行下去，然后接連產(chǎn)出高純度的商品氧氣。

當(dāng)流程處于均壓狀況時，操控均壓的電磁閥通電，其它閥封閉；先導(dǎo)氣接通均壓閥開啟口，使得這閥門翻開，完結(jié)均壓進程。早期開發(fā)的變壓吸附制氧設(shè)備的共同點有以下幾個方面：（1）大多采用高于大氣壓吸附、常壓解吸流程，吸附塔有兩個到四個。當(dāng)流程處于右吸狀況時，操控右吸的電磁閥通電，先導(dǎo)氣接通右吸進氣閥、右吸產(chǎn)氣閥、左排氣閥開啟口，使得這三個閥門翻開，完結(jié)右吸進程，一起左吸附塔解吸。每段流程中，除應(yīng)當(dāng)翻開的閥門外，其它閥門都應(yīng)處于封閉狀況。