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無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
氣流是控制潔凈度與溫濕度的主要因素,它對噪音也有一些影響。因此風(fēng)速測量,都是放在無塵室測試的步。風(fēng)速測量的目的,是確認(rèn)濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計(jì)規(guī)范,其次是確認(rèn)氣流的均勻度。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制,室內(nèi)換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來換算。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺的掣動(dòng),在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。
若能徹底實(shí)施“不攜入”技術(shù),無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺的掣動(dòng),在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的??刂茪饬骺煞乐刮⒘W永鄯e,但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無塵室內(nèi)會(huì)使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對于制造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料,并藉由除電裝置進(jìn)行除電。(2)室內(nèi)氣流流型及分布:單向流要求均勻、平等的流線,但會(huì)受到工藝設(shè)備布置和位置變動(dòng)及人員活動(dòng)情況等的干擾形成局部渦流。
(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時(shí),其綜合經(jīng)濟(jì)性一般往往可取。
(2)潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室,末級過濾器滿布率100%時(shí),對大的系統(tǒng)采用FFU,當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的;對小系統(tǒng)有意義作具體比較。
(3)對潔凈度要求不甚嚴(yán)的潔凈室,末級過濾器滿布率≤40%時(shí)對大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟(jì)性往往相差不多,但對IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的,因此當(dāng)前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時(shí),采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。
個(gè)人物品,例如煙、錢包、紙巾和紙制品,都要存放在辦公桌或者儲物柜里,不能把它們帶進(jìn)潔凈室。除非得到管理人員的特別許可,否則,在潔凈室里,衣服口袋只能是空的。蘇州卓宇泰公司要求在進(jìn)入潔凈室之前,首先要把眼鏡和護(hù)目鏡上所有看得見的微粒污染物擦掉。干燥的皮屑、呼出的空氣和唾液都可能會(huì)污染產(chǎn)品。一次性鞋套每天更換一到兩次。蘇州卓宇泰起重設(shè)備安裝有限公司主營設(shè)備安裝,設(shè)備包裝,設(shè)備吊裝,無塵室設(shè)備移位與定位,大型廠房搬遷等業(yè)務(wù)。