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彎管的中心曲率半徑應(yīng)大于矩形風(fēng)管的邊長,圓形則采用1.25倍直徑。大斷面風(fēng)管應(yīng)在管內(nèi)加導(dǎo)流片,以減少阻力。電話和火警設(shè)備不能少潔凈廠房設(shè)置電話,對(duì)講電話,可以減少人員在潔凈區(qū)走動(dòng),減少發(fā)塵量,也可在萬一發(fā)生火災(zāi)時(shí)及時(shí)與外部聯(lián)系,也為正常工作聯(lián)系創(chuàng)造條件。而在實(shí)際安裝施工中,較少如此處理。對(duì)于變徑管,不可突然變徑,宜作成漸擴(kuò)(縮)管,漸擴(kuò)管每邊擴(kuò)展角應(yīng)大于15°,漸縮管則每邊收縮角不大于30°。矩形風(fēng)管的三通要順氣流彎管彎曲分流,支管也應(yīng)有一定的曲率半徑。若要90°角分流,則應(yīng)在彎頭內(nèi)加導(dǎo)流片。
空氣分子污染AMC作為IC工廠關(guān)心的問題于20年前先由日本人提出,近年來,世界Ic卡技術(shù)展開疾速,IC芯片日益微型化,目前曾經(jīng)有贏徑為0.4lilln的世界小的非接觸型無線射頻識(shí)別芯片。干凈實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)室均已經(jīng)過醫(yī)干凈檢測(cè)中心檢測(cè),為萬級(jí)干凈實(shí)驗(yàn)室。AMC對(duì)當(dāng)前的IC消費(fèi)其潛在的污染比粒子污染要普遍多,粒子污染控制只需求肯定粒徑及個(gè)數(shù),但對(duì)AMC控制而言,除了受芯片線寬的減少而變化外,并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。
5、使用低檔設(shè)備
GMP國標(biāo)規(guī)定:潔凈度大于或等于10萬級(jí),必須采用三級(jí)過濾,即初效、中效、高的效過濾器。有些施工方利用客戶不太懂行的情況,使用功率較低的通風(fēng)機(jī)組或者過濾器,很容易導(dǎo)致潔凈度不合格。
6、無塵車間清潔不徹底
GMP無塵車間在檢測(cè)前必須徹底清潔。工作人員必須穿無塵服進(jìn)入,清洗劑用純水、有機(jī)的溶劑等。防靜電的,需用沾有防靜電液的抹布擦拭。如果沒有按要求來清潔或者清潔不徹底也是容易檢測(cè)不合格的。