電子束原理介紹

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電子在電場中會(huì)受力而得到加速、提高能量，產(chǎn)生電子束。電子束焊原理一臺(tái)電子增速器，注入的電子能量為20GeV（1GeV=109 eV，也就是10億電子伏特），相應(yīng)的電子速度為0.99999999979倍光速。電子經(jīng)增速器加速后，能量可達(dá)到100GeV，電子速度達(dá)到0.999999999987倍的光速。這說明，電子在這臺(tái)增速器里速度幾乎沒有增加，而能量增加了4倍。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于科研院所、高校在片狀、半球狀、異形基底表面制備金屬/化合物（ITO等氧化物）/導(dǎo)電薄膜/光學(xué)薄膜等。

電子束鍍膜原理

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電子束蒸鍍是利用加速電子轟擊鍍膜材料，電子的動(dòng)能轉(zhuǎn)換成熱能使鍍膜材料加熱蒸發(fā)，并成膜。電子槍有直射式、環(huán)型和E型之分。電子束加熱蒸鍍的特點(diǎn)是能獲得極高的能量密度，可達(dá)109w/cm2，加熱溫度可達(dá)3000～6000℃，可以蒸發(fā)難熔金屬或化合物;被蒸發(fā)材料置于水冷的坩堝中，可避免坩堝材料的污染，制備高純薄膜；另外，由于蒸發(fā)物加熱面積小，因而熱輻射損失減少，熱效率較高。但結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，且對(duì)較多的化合物，由于電子的轟擊有可能分解，故不適合多數(shù)化合物的蒸鍍。它是在高真空條件下，通過加熱材料的方法，在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜，在襯底上沉積各種金屬或合金電極并形成器件。

雙槍電子束鍍膜機(jī)介紹

電子槍蒸發(fā)是到目前為止應(yīng)用較多的一種蒸發(fā)方式，它可以蒸發(fā)任何一種鍍膜材料，它的工作方式是：將鍍膜材料放在坩堝里面，將蒸發(fā)源制作成燈絲形狀，采用一專門的控制柜，對(duì)燈絲加一強(qiáng)電流，高電壓，由于燈絲的材料是鎢，所以它會(huì)發(fā)熱，然后會(huì)發(fā)射電子，再采用一定的磁場將其聚集成一定形狀，并牽引到坩堝上，這樣就形成了一股電子束，由于電子束溫度非常高，可以熔化任何鍍膜藥材，當(dāng)鍍膜藥材被電子束熔化后（有些材料是直接升華），藥材的分子（原子或者離子）在真空中成直線運(yùn)動(dòng)，然后遇到基板，就凝結(jié)下來，經(jīng)過這種方式生長，形成薄膜！現(xiàn)代生活中已經(jīng)普及的電視、計(jì)算機(jī)顯示器所用的顯像管就是一臺(tái)小小的電子增速器。

常用的有將電子束的偏轉(zhuǎn)角制作成270度，、或者運(yùn)行軌跡為e型的e行電子槍或者電子束偏轉(zhuǎn)角180度，運(yùn)行軌跡為c型的c型電子槍兩種。

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