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廣州帕納光電科技有限公司----VARIAN TV301分子泵維修公司;
開發(fā)過程中,其驗證流程的嚴格程度遠遠超出了行業(yè)標準。執(zhí)行的每一個步驟均經過仔細測試,包括壽命測試,沖擊測試,抗振動測試,包裝測試,溫度測試,傅立葉振動分析,噪音測試等。立式分子泵的裝配工藝要比臥式分子泵簡單,所以近些年立式分子泵的發(fā)展速度很快。我們對多種不同設計生產了樣泵并進行了測試,這并不局限于幾個樣品。我們?yōu)榇藢iT制造的樣泵多達1000 余臺,對各項結構和功能參數(shù)進行了廣泛測試和分析。在終產品定型時,僅選用了結果的結構和方案;
抽速是分子泵的核心參數(shù),提高轉速是加大抽速為直接的方法之一,隨著動平衡技術的發(fā)展,分子泵轉子可順利地在超高轉速下穩(wěn)定運轉。渦輪分子泵的轉子葉片具有特定的形狀,在它以20000~30000r/min的高速旋轉的同時,葉片將動量傳給氣體分子。隨著材料科學的發(fā)展,分子泵轉子材料也發(fā)生了變化,可用硬鋁合金、碳纖維、鈦合金等高硬度材料制成,這使轉子的轉速得到進一步提高。除此之外,近些年還出現(xiàn)了多種新型分子泵,如可有效抽取水分子的低溫型分子泵,可在強磁場、強腐蝕條件下工作的陶瓷分子泵,以及可實現(xiàn)無接觸支撐、、高壽命的磁懸浮分子泵等。
水泵性能的技術參數(shù)有流量、吸程、揚程、軸功率、水功率、效率等;根據(jù)不同的工作原理可分為容積水泵、葉片泵等類型。容積泵是利用其工作室容積的變化來傳遞能量;葉片泵是利用回轉葉片與水的相互作用來傳遞能量,有離心泵、軸流泵和混流泵等類型。
油封式旋片泵(即油泵)
極限真空能到達10-3mbar,但油泵容易產生返油倒吸的問題,如果沒有控制返流的安全閥,或者不合理的放氣程序都會引起油蒸汽的返流,不合要求的安全閥也會引起油污染,從而導致分子泵提供的真空環(huán)境里會存在一定含量的碳氫化合物,影響使用;并且油泵操作溫度較高,如果散熱效果較差,會直接影響客戶的測試結果;另外還需要定時換油,總體來說維護成本高,能耗大。如果軸承用的是高品位的潤滑脂在正常運行條件下可運行15000小時或兩年。
對軸承來說,潤滑是左右其性能的重要問題。延遲啟動——系統(tǒng)容積過大,先啟動前級泵,至系統(tǒng)壓強P=200Pa時,啟動分子泵。潤滑劑或潤滑方式的合適與否將大大影響軸承的壽命。如果軸承用的是高品位的潤滑脂在正常運行條件下可運行15000小時或兩年。對電機功率大于18.5KW的水泵或在不利的條件下比如環(huán)境溫度高、空氣濕度大、灰塵多、侵蝕性強的工業(yè)環(huán)境應提前檢查軸承,必要時可安排5000小時更換一次潤滑脂。
①、泵入口:對正、對稱擰緊
?、?、泵出口:防止錯位
③、冷卻水:無漏水;入口水壓0.2MPa;水溫20±5℃;水質澄清無沉淀
注意:環(huán)境溫度:風冷需小于32℃;水冷可至40℃
入口壓強:強制風冷<0.1Pa;自然風冷<0.01Pa