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真空鍍膜應用,簡單地理解就是在真空環(huán)境下,利用蒸鍍、濺射以及隨后凝結的辦法,在金屬、玻璃、陶瓷、半導體以及塑料件等物體上鍍上金屬薄膜或者是覆蓋層。相對于傳統(tǒng)鍍膜方式,真空鍍膜應用屬于一種干式鍍膜。真空條件下制備薄膜,環(huán)境清潔,膜不易受到污染,因此,可獲得致密性好、純度高、膜層均勻的膜。
物理氣相沉積:在真空狀態(tài)下,鍍膜材料經蒸發(fā)或濺射等物理方法氣化,沉積到基片上的一種制取膜層的方法。
真空鍍膜技術具有下列優(yōu)點:
薄膜和基體選材廣泛,薄膜厚度可進行控制,薄膜與基體結合強度好,薄膜牢固。
鍍膜技術都需要一個特定的真空環(huán)境,以保證制膜材料在加熱蒸發(fā)或濺射過程中所形成蒸氣分子的運動,不致受到大氣中大量氣體分子的碰撞、阻擋和干擾。
由于在真空條件下制膜,所以薄膜的純度高、密實性好、表面光亮不需要再加工,這就使得薄膜的力學性能和化學性能比電鍍膜和化學膜好。
真空鍍膜技術之物理氣相沉積技術,它利用某種物理過程,如物質的熱蒸發(fā),或受到離子轟擊時物質表面原子的濺射等現(xiàn)象,實現(xiàn)物質原子從源物質到薄膜的可控轉移過程。物理氣相沉積技術具有膜/基結合力好、薄膜均勻致密、薄膜厚度可控性好、應用的靶材廣泛、濺射范圍寬、可沉積厚膜、可制取成分穩(wěn)定的合金膜和重復性好等優(yōu)點。