湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。

一種化學(xué)熱處理爐，尤其涉及一種新型多功能輝光離子滲氮爐。該輝光離子滲氮爐包括內(nèi)隔熱屏，在內(nèi)隔熱屏內(nèi)壁上裝有發(fā)熱體，發(fā)熱體與電極間采用螺栓聯(lián)接，發(fā)熱體與內(nèi)壁由陶瓷絕緣體隔離絕緣，絕緣體由螺栓固定在隔熱屏內(nèi)壁上。

?選用正弦波中頻靶電源，由于波形的原因，靶面產(chǎn)生打弧的幾率更低并優(yōu)于雙極性矩形波中頻靶電源。更適合于對薄膜表面和膜層質(zhì)量要求較高的濺射工藝。??一般來說，射頻輝光放電與直流及中頻交流脈沖輝光放電相比，可以在低一個(gè)數(shù)量級的氣體壓強(qiáng)狀態(tài)下進(jìn)行(例如，1.0×1-2Pa)。同時(shí)輝光逐漸擴(kuò)展到兩電極之間的整個(gè)放電空間，發(fā)光也越來越明亮。??

磁控靶射頻放電的陰極是電容耦合電極，陽極接地;射頻電壓可以穿過任何種類的阻抗，所以電極就不再要求是導(dǎo)體；電容耦合穿過絕緣材料或空間，電極就不再限于導(dǎo)電材料，可以濺射任何材料，因此射頻輝光放電廣泛用于絕緣或介質(zhì)材料的濺射沉積鍍膜。