1、萊寶真空泵

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概述：真空貼合機(jī)又稱“OCA貼合機(jī)”或“觸摸屏貼合機(jī)”，英文“OCA laminating machine”。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會(huì)起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。是PLC或單片機(jī)控制的工業(yè)自動(dòng)化產(chǎn)品，用于手機(jī)屏幕貼合用的設(shè)備之一。貼合原理是將手機(jī)液晶屏幕和玻璃蓋板置于真空壞境的真空箱中，利用機(jī)器的氣缸壓力將真空缸的里模下降，將放在真空缸下模的玻璃蓋板和液晶屏幕完全壓合。從而完成手機(jī)屏幕維修當(dāng)中的關(guān)鍵工藝，即“OCA貼合工藝”。真空貼合機(jī)首l選Leybold萊寶真空泵

式螺桿真空泵：它是一種不用油類（或液體）密封的變?nèi)菡婵毡谩?

液環(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)，當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí)，把液體（通常為水或油）拋向泵殼內(nèi)形成泵殼同心的環(huán)液，環(huán)液同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期性變化的幾個(gè)小容積，故亦稱旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩?

羅茨真空泵：泵內(nèi)裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。機(jī)械增壓泵即為這種形式的真空泵。

分子泵

分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無須對泵內(nèi)進(jìn)行潤滑，而且磨損很小。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。