擴(kuò)散硅傳感元件原理及特點(diǎn)

壓阻效應(yīng)本質(zhì)就是應(yīng)力的作用。 即在硅材料沿某一晶向施加一定的壓力時(shí) , 使它們之間的能帶形狀發(fā)生變化 , 引起單晶體電導(dǎo)率的改變。 其變化值與所加的應(yīng)力大小和方向有著一定的關(guān)系。 擴(kuò)散硅應(yīng)變?cè)褪抢脡鹤栊?yīng)制成的。

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擴(kuò)散硅傳感器的工作原理

擴(kuò)散硅傳感器選型作為一種較高的性能的一次壓力測(cè)量產(chǎn)品，可以很方便地進(jìn)行放大處理，裝配成標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸出的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于石油、化工、冶金、電力、航空、汽車、HVAC等行業(yè)的過(guò)程控制。

被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產(chǎn)生與TBP-1擴(kuò)散硅無(wú)腔壓力傳感器介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，和用電子線路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。

擴(kuò)散硅壓力傳感器的優(yōu)點(diǎn):

1、可進(jìn)行二次補(bǔ)償：擴(kuò)散硅壓力傳感器的靈敏度溫度系數(shù)和零點(diǎn)溫度系數(shù)能夠進(jìn)行補(bǔ)償，即使成品芯體也可進(jìn)行二次補(bǔ)償，所以傳感器的優(yōu)點(diǎn)容易發(fā)揮到很好。

2、信號(hào)輸出大：擴(kuò)散硅壓力傳感器的輸出大是它很了不起的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)，因?yàn)檩敵龃鬄楹蠖说淖兯驼{(diào)理線路提供了很大的優(yōu)勢(shì)條件，分辨率高，靈敏度高。

3、體積小巧，利于安裝。

4、價(jià)格相對(duì)便宜，性價(jià)比高，這也是擴(kuò)散硅壓力傳感器在我們國(guó)家能夠廣泛應(yīng)用的一個(gè)原因。