真空鍍膜機的真空室設(shè)計方法

真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或者化學(xué)方法，使物體表面獲取所需膜體，真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用方法的不同科分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等，這次分析的鍍膜設(shè)備采用的是磁控濺射鍍膜。

真空室是真空設(shè)備的一個主要組成部位，真空鍍膜設(shè)備真空室設(shè)計主要考慮的就是密封性和可靠性，結(jié)構(gòu)必須要合理，真空設(shè)備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進行的，材料對真空度的影響要小，設(shè)計不能馬虎，要注意一些問題。

使用磁控濺射的真空鍍膜機一般采用的是圓筒主體結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)上要保證快速抽空，因氣袋會緩慢的放氣，因此要避免出現(xiàn)隔離孔穴，真空系統(tǒng)上端會加裝磁控濺射槍，為了使真空室和元件有足夠的強度，保證在外部和內(nèi)部的作用力下不產(chǎn)生形狀的變化，厚度需要足夠。

焊接是真空室制造中的一道關(guān)鍵工序，保證焊接之后的真空室不會產(chǎn)生漏氣現(xiàn)象，須合理設(shè)計焊接結(jié)構(gòu)，提高焊接質(zhì)量，處在超高真空的內(nèi)壁粗糙度要拋光使室外室內(nèi)表面很光潔，須特別注意的是需做好防止生銹的措施。

真空鍍膜機蒸發(fā)與磁控濺射鍍鋁性能

真空鍍膜機電子束蒸發(fā)與磁控濺射鍍鋁性能分析研究，為了獲得性能良好的半導(dǎo)體電極Al膜，我們通過優(yōu)化工藝參數(shù)，制備了一系列性能優(yōu)越的Al薄膜。通過理論計算和性能測試，分析比較了真空鍍膜設(shè)備電子束蒸發(fā)與磁控濺射兩種方法制備Al膜的特點。

嚴(yán)格控制發(fā)Al膜的厚度是十分重要的，因為Al膜的厚度將直接影響Al膜的其它性能，從而影響半導(dǎo)體器件的可靠性。對于高反壓功率管來說，它的工作電壓高，電流大，沒有一定厚度的金屬膜會造成成單位面積Al膜上電流密度過高，易燒毀。對于一般的半導(dǎo)體器件，Al層偏薄，則膜的連續(xù)性較差，呈島狀或網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，引起壓焊引線困難，造成不易壓焊或壓焊不牢，從而影響成品率;Al層過厚，引起光刻時圖形看不清，造成腐蝕困難而且易產(chǎn)生邊緣腐蝕和“連條”現(xiàn)象。

采用真空鍍膜機電子束蒸發(fā)，行星機構(gòu)在沉積薄膜時均勻轉(zhuǎn)動，各個基片在沉積Al膜時的幾率均等;行星機構(gòu)的聚焦點在坩堝蒸發(fā)源處，各個基片在一定真空度下沉積速率幾乎相等。采用真空鍍膜機磁控濺射鍍膜方法，由于沉積電流和靶電壓可以控制，也即是濺射功率可以調(diào)節(jié)并控制，因此膜厚的可控性和重復(fù)性較好，并且可在較大表面上獲得厚度均勻的膜層。

附著力反映了Al膜與基片之間的相互作用力，也是保證器件經(jīng)久耐用的重要因素。真空鍍膜設(shè)備濺射原子能量比蒸發(fā)原子能量高1-2個數(shù)量級。真空鍍膜機高能量的濺射原子沉積在基片上進行的能量轉(zhuǎn)換比蒸發(fā)原子高得多，產(chǎn)生較高的熱能，部分高能量的濺射原子產(chǎn)生不同程度的注入現(xiàn)象，在基片上形成一層濺射原子與基片原了相互溶合的偽擴散層，而且，在真空鍍膜設(shè)備成膜過程中基片始終在等離子區(qū)中被清洗，清除了附著力不強的濺射原子，凈化基片表面，增強了濺射原子與基片的附著力，因而濺射Al膜與基片的附著力較高。

真空鍍膜機使用前要檢查什么

1、主機齒輪箱、牽引減速箱應(yīng)該時常加油，更換齒輪油。

2、新機請在使用10天左右更換新齒輪油，以確保各轉(zhuǎn)動部位正常運轉(zhuǎn)。

3、注意加油，防止卡住和過熱損壞。

4、還應(yīng)檢查各連接部位的固緊情況，防止羅栓松動。

5、泡管中的壓縮空氣應(yīng)保持適量。

6、啟動主電機時，應(yīng)先啟動電機后慢慢加速；關(guān)閉主電機，應(yīng)先減速后再關(guān)機。

至成真空科技有限至成真空科技，在安裝車燈鍍膜機的時候應(yīng)該注意調(diào)整好擠出機機頭中心線和牽引輥中心保持水平垂直，收卷時由于收卷外徑逐漸增大車燈鍍膜機請注意牽引速度與收卷速度的配合，請及時調(diào)整。主機開啟后，密切注意主機運行情況。

真空鍍膜機漏氣檢修

真空電鍍設(shè)備漏氣問題我們應(yīng)該如何進行檢修呢？真空電鍍設(shè)備漏氣對于設(shè)備本身是有大的影響的，因此我們要及時的進行檢修維護。

1、要測試好真空室內(nèi)氣體密封性能的比例，確保氣密性能夠符合要求。

2、然后檢查真空鍍膜漏孔大小、形狀和漏氣速度，分析出解決方案并且可以實施。

3、要確認(rèn)真空電鍍漏氣是真漏還是虛漏，因為在工件材料加熱之后會在不同程度上產(chǎn)生一定的氣體，有時候會誤以為是從外部流進的氣體，這就是虛漏，我們要排除這種情況。

4、確定檢測儀器小的檢漏率和撿漏靈敏性，以大范圍檢測出漏氣的情況，避免一些漏孔被忽略，提高檢漏的準(zhǔn)確性。

5、后還要避免真空電鍍漏孔的堵塞，有時候因為操作失誤，真空電鍍在撿漏中，會有一些灰塵或液體等把漏孔給堵塞了，以為在那位置沒有漏孔，但當(dāng)這些堵塞物由于內(nèi)外的壓強差異提高或會使漏孔不堵了，但是漏氣還是會存在的。