真空箱注意事項(xiàng)：

真空箱經(jīng)多次使用后，會(huì)產(chǎn)生不能抽真空的現(xiàn)象，此時(shí)應(yīng)更換門封條或調(diào)整箱體上的門扣伸出距離來解決。當(dāng)真空箱干燥溫度高于200℃時(shí)，會(huì)產(chǎn)生慢漏氣現(xiàn)象（除6050、6050B、6051、6053外），此時(shí)拆開箱體背后蓋板用內(nèi)六角扳手?jǐn)Q松加熱器底座，調(diào)換密封圈或擰緊加熱器底座來解決。烘箱的加熱管有何用烘箱進(jìn)行烘干作業(yè)的時(shí)候，可以通過加熱管進(jìn)行加熱，同時(shí)也可以通過外部控制進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，在烘箱設(shè)備中，能夠進(jìn)行選擇的就是攔截掉烘箱的加熱管，才能夠更好的控制紅線設(shè)備。

放氣閥橡皮塞若旋轉(zhuǎn)困難，可在內(nèi)涂上適量油脂潤(rùn)滑。（如凡士林）

除維修外，不能拆開左側(cè)箱體蓋（6090及6210型除外）以免損壞電器控制系統(tǒng)。

真空箱應(yīng)經(jīng)常保持清潔。箱門玻璃切忌用有反應(yīng)的化學(xué)溶液擦拭，應(yīng)用松軟棉布擦拭。11.若真空箱長(zhǎng)期不用，將露在外面的電鍍件擦凈后涂上中性油脂，以防腐蝕，并套上塑料薄膜防塵罩，放置于干燥的室內(nèi)，以免電器元件受潮損壞，影響使用。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱——真空干燥箱使用方法

真空箱調(diào)試

在真空度調(diào)試完畢后，可作如下操作：

a.打開真空箱電源,此時(shí)電源指示燈應(yīng)亮(6090及6210型應(yīng)再分別打開控溫儀開關(guān))控溫儀通電自檢，PV屏顯示工作室內(nèi)測(cè)量溫度，SV屏顯示出廠時(shí)設(shè)定的溫度。控溫儀上AT及HEAT等燈應(yīng)亮，表示儀表進(jìn)入加溫的工作狀態(tài)。

b.修改設(shè)定溫度

1.按一下控溫儀的功能鍵(SET)；PV屏顯示SP字符后，可用鍵頭按鈕進(jìn)行設(shè)定溫度的修改(6090與6210型對(duì)2及3個(gè)儀表應(yīng)分別設(shè)定修改，以下類同)。

2.修改完畢后，再按一下SET鍵，PV屏顯示ST字符，設(shè)定定時(shí)時(shí)間。

如不使用定時(shí)功能，則仍然讓其ST=0

3.再按一下SET鍵，使PV屏顯示工作室溫度，SV屏顯示新的設(shè)定溫度。儀表AT及HEAT燈亮，此時(shí)儀表重新進(jìn)入加溫的工作狀態(tài)

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時(shí)間的延長(zhǎng)，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時(shí)間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時(shí)間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常,有無聲音異常，如有請(qǐng)立即關(guān)閉機(jī)器并通知我司售后。

2、掩碼對(duì)齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個(gè)層的位置不能移動(dòng)。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對(duì)開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對(duì)齊在晶片上。風(fēng)源由循環(huán)送風(fēng)電機(jī)（采用無觸點(diǎn)開關(guān)）帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)由加熱器，而將熱風(fēng)送出，再經(jīng)由風(fēng)道至烘箱內(nèi)室，再將使用后的空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)，加熱使用。