如何區(qū)分潔凈棚與潔凈室兩者的不同　　1、潔凈棚又名潔凈工作棚（無(wú)塵棚、凈化棚、操作工作臺(tái)等），是指在潔凈室內(nèi)用防靜電網(wǎng)格簾或有機(jī)玻璃圍一個(gè)小空間，上方采用HEPA及FFU送風(fēng)單元組成一相對(duì)潔凈室較高凈化級(jí)別的空間，潔凈棚可配風(fēng)淋室、傳遞窗等凈化設(shè)備；

　　2、潔凈室是指將空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物清理干凈，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。也就是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，這樣的一個(gè)空間我們一凈稱之為潔凈室。

潔凈棚材料：潔凈棚的框架一般有三種：不銹鋼方通，鐵方通，鋁型材。 潔凈棚頂部材料一般有三種：不銹鋼板，冷軋鋼板噴塑，防靜電網(wǎng)格圍簾，（防靜電）亞克力板。 潔凈送風(fēng)部分，一般選擇FFU層流罩（FFU層流送風(fēng)單元） 潔凈棚的圍護(hù)材料一般包括：防靜電圍簾，（防靜電）亞克力板。潔凈棚凈化級(jí)別的選擇： 比較多的客戶，會(huì)選用千級(jí)潔凈棚，或萬(wàn)級(jí)潔凈棚，少量客戶會(huì)選用百級(jí)或萬(wàn)級(jí)。總之，潔凈棚級(jí)別的選擇在于客戶對(duì)潔凈度的需要而定，但因潔凈棚比較密閉，如選擇潔凈棚級(jí)別比較低時(shí)，往往會(huì)帶來(lái)部分副作用：冷量不足，員工在潔凈棚內(nèi)會(huì)感覺比較悶熱，所以實(shí)際在和客戶的溝通過(guò)程中，需要注意這點(diǎn)。

潔凈棚方通分類：

鐵方通（烤漆處理）,201不銹鋼方通,304不銹鋼方通,鋁合金方通四種。

各種潔凈棚方通圖片案例展示與說(shuō)明：

骨架采用鐵方通（烤漆處理）制作的潔凈棚,美觀大方,經(jīng)久耐用。

骨架采用鐵方通（烤漆處理，50*50mm方通）制作的潔凈棚,美觀大方,經(jīng)久耐用。

不銹鋼方通制作的潔凈棚,美觀大方,經(jīng)久耐用,防腐蝕。

50*50mm不銹鋼方通制作的潔凈棚,美觀大方,經(jīng)久耐用,防腐蝕。

201不銹鋼方通與304不銹鋼方通統(tǒng)稱不銹鋼方通

鋁合金方通制作的潔凈棚,安裝使用方便。

潔凈棚的溫濕度控制非常重要，不合宜的溫濕度會(huì)影響潔凈效果。但是溫濕度的控制主要還是根據(jù)工藝要求來(lái)確定的，工藝性高也就代表著潔凈度越高。

濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。

具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度。