在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的很好的工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應，泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏?？紤]達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。

Leybold萊寶真空泵主要型號:

SOGEVAC系列單級油封璇片真空泵：SV10 SV16 SV25 SV40 SV65 SV100 SV200 SV300 SV500 SV580 SV630 SV750 SV1200

TRLVAC C系列雙級油封璇片泵：D2 D4 D8 D9 D16 D25 D30 D40 D60 D65 D90

RUVAC系列羅茨泵：WA/WAU   150/151/250/251/500/501/1000/1001/2000/2001

阿爾卡特干泵ADP/ADS系列

   ADP/ADS系列2產(chǎn)品的四種型號可滿足不同真空要求，環(huán)境清潔的工藝應用可選擇LM型，輕型或中型應用要求可選擇P型，H型可供苛刻要求的工藝環(huán)境選擇。許多來自半導體工業(yè)的主要制造商已經(jīng)選擇這一產(chǎn)品，這一選擇使他們大大縮短了計劃外停l工期，從而節(jié)約了運行成本，提高了利潤率。

特點：

處理能力可靠性高寬交叉槽可容納大量粉塵和顆粒精l確而閉合的溫控系統(tǒng)、高操作溫度以及從進口到出口的氣體溫度的線性增長各級采取立式抽吸防止吹掃腔中粉塵聚集