通常，標(biāo)準(zhǔn)氣體的使用有效期是根據(jù)穩(wěn)定性試驗結(jié)果來加以確定的。有效期是指濃度變化率不超過規(guī)定指標(biāo)的時間間隔。襄陽標(biāo)準(zhǔn)氣體價格,襄陽標(biāo)準(zhǔn)氣體分享鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度很低時，其濃度變化較大，因此從穩(wěn)定性的現(xiàn)點來看，組分氣體濃度越高越穩(wěn)定。

高壓鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度即使在5*10-5以上，鋼瓶中的組分氣體仍在發(fā)生變化，所以一般把能夠保證標(biāo)準(zhǔn)值的有效期定為半年到一年。如果有些準(zhǔn)氣體已超過有效期，但容器中的殘壓在8106kPa(80atm)以上時可以再次測定，確定值后繼續(xù)使用。

隨著用戶消耗標(biāo)準(zhǔn)氣體而殘壓變化時，被吸附在容器內(nèi)壁上的各種成分氣體便解吸下來，使?jié)舛戎蛋l(fā)生變化。一般規(guī)定，高壓鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣體的殘壓低于1013.25kPa(10atm)時，停止使用。

液態(tài)氦氣沸點極低,當(dāng)溫度降至2

液態(tài)氦氣沸點極低，當(dāng)溫度降至2.178K時，就轉(zhuǎn)變?yōu)橐环N粘度接近于零的具有流動性的液氦，此時的液態(tài)氦氣被稱為超流體。液態(tài)氦氣已實際應(yīng)用在許多晶圓處理程序步驟中，它可在高壓氣相化學(xué)沉積(HP-CVD)以及蝕刻程序上作為晶背冷卻之用，并且它也可用作為攜載氣體應(yīng)用在CVD以沉積抗反射層、氧氮化合物及其它薄膜用。

中的氦氣是鈾之類的性元素衰變的產(chǎn)物

中的氦氣是鈾之類的性元素衰變的產(chǎn)物。只有在礦附近有鈾礦時，氦氣才能在中匯集。美國生產(chǎn)的氦氣要占世界總產(chǎn)量的80%以上。中國雖然也有一定的資源，可是到目前為止，唯有四川內(nèi)江威遠(yuǎn)的氣田曾得到提氦利用，其中的氦含量只有0.2%，而且現(xiàn)在已經(jīng)枯竭。中國近年來對氦氣的需求量越來越大。受制于氦氣資源匱乏、提取氦氣的成本較高，中國在需求上一直依賴進(jìn)口。

氣相沉積氣體:含鹵化物及鹵碳化合物為主,如、三氟化氮(NF3

（3）蝕刻清洗氣體：以含鹵素的鹵化物及鹵碳化合物為主，如、三氟化氮（NF3）、（HBr）、四氟化碳（CF4）、六氟（C2F6）等。（4）反應(yīng)氣體：以碳系及氮系氧化物為主，如二氧化碳（CO2）、氨（NH3）、氧化亞氮（N2O）等。（5）金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機(jī)烷類金屬，如六氟化鎢（WF6）、（Ga（CH3）3）等。