檢漏儀對示漏氣體的要求：在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準(zhǔn)確性。氦質(zhì)譜檢漏儀不會(huì)受到主觀因素判斷的影響；檢測的數(shù)據(jù)精準(zhǔn)；自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標(biāo)的氦本底，保證檢測的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；實(shí)時(shí)監(jiān)測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；

氦氣檢漏儀可同時(shí)檢測多工件，并能按照需求自動(dòng)判斷出具體的有漏工件；專業(yè)定制的的密封接頭，穩(wěn)定可靠，減少誤判。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標(biāo)的氦本底，保證檢測的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；實(shí)時(shí)監(jiān)測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；

氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其廣泛應(yīng)用。對檢漏方法的要求：穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時(shí)間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸，防止因儀器長時(shí)間清除不掉氦影響而延誤測試。

漏孔距離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時(shí)間也不同，所以噴氦氣應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開始由近至遠(yuǎn)進(jìn)行。氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏率應(yīng)高于設(shè)備所允許漏率1-2個(gè)數(shù)量級。首先將設(shè)備穩(wěn)固的置于明亮、透風(fēng)良好的場所，連接好檢漏用管路及壓力表，應(yīng)將壓力表安裝在測漏容器的頂部便于觀察的位置。