氦質(zhì)譜檢漏儀的進展

經(jīng)過近半個世紀(jì)的努力，今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。

集中體現(xiàn)在如下幾個方面：

（1）便攜式：近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

（3）自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。

（5）檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng)，不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應(yīng)檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。

例如：瑞士、日本采用改變分子泵轉(zhuǎn)速來達到此目的，且提高檢漏靈敏度。

另外，逆擴散檢漏方式，實現(xiàn)了高壓強下檢漏，也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。

氦質(zhì)譜檢漏儀熱管檢漏

熱管

熱管 (Heat Pipe) 是利用熱傳導(dǎo)原理與致冷介質(zhì)的快速熱傳遞性質(zhì)，透過熱管將發(fā)熱物體的熱量迅速傳遞到熱源外，其導(dǎo)熱能力超過任何已知金屬的導(dǎo)熱能力。熱管技術(shù)目前廣泛應(yīng)用于計算機、各類電器等設(shè)備散熱，常見的形狀有圓管狀，板塊狀 (VC 單體) 等。熱管需要檢漏原因：熱管內(nèi)部填充特殊液體用來增強熱傳導(dǎo)性能，如果熱管本身存在漏點，首先會影響熱管的導(dǎo)熱性能。

熱管需要檢漏原因：

熱管內(nèi)部填充特殊液體用來增強熱傳導(dǎo)性能，如果熱管本身存在漏點，首先會影響熱管的導(dǎo)熱性能；今天科儀創(chuàng)新的小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇，如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢。其次由于熱管都是安裝在設(shè)備內(nèi)部，如果發(fā)生泄漏，里面封裝的液體就會流出，嚴(yán)重污染和影響設(shè)備的正常運轉(zhuǎn)，所以熱管生產(chǎn)企業(yè)，都會采用 氦質(zhì)譜檢漏儀對熱管進行檢漏。

熱管檢漏客戶案例：某電子股份公司，是世界 IT 產(chǎn)業(yè) 500 強之一，分公司及營業(yè)處遍及美國、日本、歐洲、蘇格蘭、新加坡等地，全球員工近 90000人。該企業(yè)是全球較大的電源供應(yīng)器制造商，市場占有率達 25% 以上。

熱管檢漏方法：

該企業(yè)熱管出廠前標(biāo)準(zhǔn)漏率合格線是 E-8 mbarl/s，使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時，設(shè)定 E-8 為報警值，當(dāng)漏率低于該值時產(chǎn)品是合格的，當(dāng)漏率高于此值，檢漏儀發(fā)出聲光警報，說明產(chǎn)品有漏。

熱管采用檢漏儀的真空檢漏模式，因為產(chǎn)品沒有抽真空的標(biāo)準(zhǔn)接口，上海伯東根據(jù)客戶實際情況定制真空夾具，一頭連接檢漏儀，一頭連接產(chǎn)品，具體做法如下：

1.啟動氦質(zhì)譜檢漏儀，裝上夾具

2.將熱管插入夾具，并用真空封泥封堵

3.按下檢漏儀啟動鍵，開始抽真空

4.在產(chǎn)品周圍噴氦氣，以 E-8 mbarl/s 為合格線

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氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理

　　氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。79J/(m·h·K)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的定壓比熱為5233J/(kg·K)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的動力粘度系數(shù)為1。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20 Pa 時，入口閥2 關(guān)閉，入口閥3 打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時間縮短，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。

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