我國真空爐有著廣闊的發(fā)展前景： (1)進一步提高自動化程度和控制精度，主要技術(shù)指標(biāo)：①爐溫均勻性　≤±3℃;②充氣壓力　5×105Pa ~20×105Pa，Ar 氫混合氣體控制冷卻并回收;③較高加熱溫度　2500℃;④壓升率?。?.67×10-1Pa/h;⑤真空度　10-2Pa~10-4Pa。 (2)開發(fā)真空等溫?zé)崽幚砑夹g(shù)、設(shè)備及智能控制系統(tǒng)。 (3)開發(fā)真空感應(yīng)加熱技術(shù)。

真空爐的簡介

在接近真空狀態(tài)下通過電熱元件加熱的工業(yè)爐。

真空環(huán)境中進行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐膛真空度可達133×(10-2～10-4)Pa。爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應(yīng)加熱。較高溫度可達3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。

為了完成真空爐進程的自動操控，自動操控系統(tǒng)需求檢測真空度、溫度參數(shù)、工藝操作參數(shù)以及除氣室、加熱室和冷卻室的工況，保證各爐膛技能溫控要求的操控輸出。主要有以下幾個方面：

1、檢測參數(shù)：除氧室、加熱室和冷卻室三個測溫點的溫度值、真空爐壓力值、爐內(nèi)真空度等。

2、檢測狀況：呼室、加熱室、冷卻室過溫報警、超壓報警、缺水報警等；

3、加熱給出：操控溫度操控儀表的運轉(zhuǎn)，然后調(diào)整加熱電源以改變爐膛內(nèi)的溫度。利用熱電偶對各爐膛的溫度進行采樣，并將檢測到的爐溫與技能要求的溫度值進行比較，并計算誤差。溫度操控表依據(jù)一定的規(guī)矩計算由操作量操控的加熱電源板的加熱電流，然后對溫度進行操控。

4、操控輸出：操控物料車在排氣室、加熱室和冷卻室之間的運輸，操控分散泵、羅茨泵、機械泵、主閥、粗抽閥、前閥等動作，到達所需的真空環(huán)境。