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流量控制器的原理是什么?
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門(mén)和放大控制器等部分組成。質(zhì)量流量控制器本身除了測(cè)量部分,還帶有-個(gè)電磁調(diào)節(jié)閥或者壓電閥,這樣質(zhì)量流量控制本身構(gòu)成-個(gè)閉環(huán)系統(tǒng),用于控制流體的質(zhì)量流量。質(zhì)量流量控制器的剖面結(jié)構(gòu)圖見(jiàn)圖1。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大, 放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門(mén),閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設(shè)定電位器, 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開(kāi)關(guān)等。氣體質(zhì)量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。
流量控制器
使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽, 氣壓很低, 如何定制質(zhì)量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?
部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源, 氣壓很低, 用普通MFC, 不能正常工作。這時(shí)用戶需要向供貨商特別聲明, 定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通常可以定制工作壓差低于0.01MPa的MFC, 這時(shí)MFC的工作壓差范圍, 也會(huì)變小。
注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時(shí), 不能讓汽化物在MFC中結(jié)露, 結(jié)露會(huì)影響MFC的正常工作。質(zhì)量流量計(jì)組態(tài)靈活,功能強(qiáng)大,性能價(jià)格比高,是新一代流量?jī)x表。為了防止結(jié)露, 可以對(duì)管路和MFC適當(dāng)加溫, 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過(guò)50℃。如果用戶要MFC的工作環(huán)境溫度超過(guò)65℃以上, 需要特殊購(gòu)買(mǎi)高溫MFC產(chǎn)品。
買(mǎi)質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器時(shí),還需要買(mǎi)其它配套產(chǎn)品嗎?
一般需要流量顯示儀與之配套使用。流量顯示儀為MFM/MFC提供工作電源,進(jìn)行流量顯示,對(duì)MFC進(jìn)行流量設(shè)定操作。如果將MFM/MFC直接和計(jì)算機(jī)測(cè)控系統(tǒng)相連,視情況也可以不配流量顯示儀。
另外根據(jù)系統(tǒng)的需要可以選購(gòu)截止閥﹑過(guò)濾器﹑干燥器﹑單向閥﹑管接頭﹑減壓器﹑背壓閥等。