熱泵機(jī)組根據(jù)冷卻方式可分為風(fēng)冷式熱泵機(jī)組、水源熱泵機(jī)組和土壤熱泵三種。當(dāng)空氣中的粉塵通過(guò)電場(chǎng)時(shí)，粉塵受到負(fù)離子的沖擊而帶電，帶有靜電場(chǎng)后的粉塵電荷也同樣受到靜電場(chǎng)的作用，向陽(yáng)極（集塵極）的運(yùn)動(dòng)是，到達(dá)陽(yáng)極后釋放電荷。活性炭的多孔結(jié)構(gòu)為其提供大量的表面積，能與氣體（雜質(zhì)）完全接觸，這使得活性炭具有吸附性能，很容易達(dá)到吸收和收集雜質(zhì)的目的。像磁力一樣，所有分子之間都具有相互吸引力。消聲器對(duì)氣流的阻力應(yīng)小,裝置消聲器后增加的阻力損失要控制在機(jī)組正常運(yùn)行容許范圍內(nèi)。

成品保護(hù)后續(xù)工序施工時(shí)，地板面需蓋上干凈的布匹，防止損壞和污染。輔助用房地磚面層：按設(shè)計(jì)要求和有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)選材，粘貼做到不空鼓，平整度、高低差＜1mm，磚縫用專用的勾縫膠勾縫，做到平整、與地磚粘結(jié)牢固。潔凈手術(shù)室門(mén)宜采用設(shè)有自動(dòng)延1時(shí)關(guān)閉裝置的電動(dòng)懸掛式自動(dòng)推拉門(mén)，設(shè)計(jì)為彈簧門(mén)，應(yīng)以鋁合金制作，要達(dá)到密封和易潔凈的要求。溫濕度要求：夏季溫度設(shè)置在18～28℃，冬季為16～20℃，濕度好在30%（冬季）～70%（夏季）之間。

可以認(rèn)為,當(dāng)今微污染控制領(lǐng)域諸多科技成果的出現(xiàn)無(wú)不與集成電路生產(chǎn)的飛速發(fā)展有關(guān)。集成電路工廠的前工序(硅片加工)對(duì)微環(huán)境控制為嚴(yán)格。在防微振方面,要求工廠建造在遠(yuǎn)離鐵路、機(jī)場(chǎng)、公路干線且綠化較好的地區(qū),廠區(qū)總平面布置要求單建的動(dòng)力站房與潔凈廠房之間留有足夠的距離。我國(guó)對(duì)防微振的研究及工程實(shí)踐始于20世紀(jì)60年代初期,經(jīng)歷了幾代人的努力,不僅建立和完善了防微振理論,開(kāi)發(fā)了防微振用系列化隔振產(chǎn)品?？傮w上來(lái)說(shuō)，正是因?yàn)楹茈y有效控制空氣分子污染，致使該問(wèn)題成為了影響相關(guān)產(chǎn)品成品率的重要問(wèn)題。