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真空腔體加工
真空腔體在薄膜涂層、微電子、光學(xué)器件和材料制造中,是一種能適應(yīng)高真空環(huán)境的特殊容器。真空腔體通常包括一系列部品——如鐘形罩、基板、傳動(dòng)軸以及輔助井,這些構(gòu)成一個(gè)完整的真空腔體。
相關(guān)真空機(jī)械加工:超高真空系統(tǒng)典型腔體、真空零部件加工、真空轉(zhuǎn)接頭、真空連接件。我們的制造工程師具有熟練的加工、焊接高真空和超高真空腔體用材料的能力,如304/304L/316/316L/316LN/410/416,我們有長(zhǎng)期加工制造經(jīng)驗(yàn),制作材料有保證。真空腔體的制造從原料采購(gòu),制造工藝,焊接方法,表面處理,氦泄漏檢查,焊后加工出來(lái)的成品的尺寸測(cè)量,還有表面是否有磨砂粒,是否粗糙,是否美觀,是否進(jìn)行了表面處理,是否符合客戶的一系列系統(tǒng)中的運(yùn)用,都由我們嚴(yán)格把關(guān)。真空室材質(zhì):304SS、304LSS、316SS、316LSS、 鋁真空等級(jí):基本壓力、可接受的的泄漏率表面處理:機(jī)械拋光、電解拋光、化學(xué)清洗特殊要求:真空烘烤、殘余氣體分析額外配件:盲板法蘭、旋轉(zhuǎn)位移器、觀察窗需求檢驗(yàn)報(bào)告:三坐標(biāo)檢測(cè)報(bào)告、合格證書(shū)、材質(zhì)證明
以上就是為大家介紹的全部?jī)?nèi)容,希望對(duì)大家有所幫助。如果您想要了解更多真空腔體加工的知識(shí),歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。
真空腔體產(chǎn)品特點(diǎn)
沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——專業(yè)真空腔體供應(yīng)商,我們?yōu)槟鷰?lái)以下信息。
1.真空環(huán)境使用,高低溫真空環(huán)境使用;采用不銹鋼,鋁,陶瓷等出氣率低的材料制作;
2.標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì),可根據(jù)客人要求定制不同形狀與使用環(huán)境腔體;
3.氦氣檢漏,保壓老化,達(dá)到客戶的要求。
應(yīng)用范圍:軍類單位,大專院校,科研院所,航空航天,生物制藥,微電子,新能源,新材料等等。
真空腔體中抽氣管道的設(shè)計(jì)原則
為一個(gè)工藝選擇真空泵時(shí),工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達(dá)到大,需要筆直的抽氣管道(長(zhǎng)度短)并使用直徑盡可能大的管道。
看起來(lái)似乎很簡(jiǎn)單,但是這里有許多因素需要考慮。實(shí)際上,如果我們從物理學(xué)角度考慮,就可以明確哪些是關(guān)鍵因素。真空腔體
在穩(wěn)定狀態(tài)的條件下,如果抽氣管道內(nèi)沒(méi)有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝),抽氣管道任何截面的質(zhì)量流量必須相同。簡(jiǎn)單而言,進(jìn)入工藝室的氣體必須從泵出來(lái)。
已知?dú)怏w摩爾流量為M(公斤/摩爾)、抽氣速率為S(立方米/秒)、壓力為P(帕)、溫度為T(mén)(開(kāi)爾文),則質(zhì)量流量計(jì)算如下:
質(zhì)量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)
Ro=通用氣體常數(shù)
對(duì)于大多數(shù)抽氣系統(tǒng)而言,氣體溫度(T)在抽氣管道中不會(huì)顯著減少,而且可以合理地假定為恒定的。
在此情況下,抽氣管道任何截面(P*S)的乘積(稱為通量)相同。真空腔體
由于抽氣管道的壓力差是氣體流動(dòng)的推動(dòng)力,可見(jiàn)壓力(P)必須在工藝室中為高值,在泵入口為低值。
由于我們假定通量恒定,可見(jiàn)抽氣速率(S)在工藝室為小值,在泵入口為大值(等于泵速)。