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盡量采用減少接觸摩擦分離而產(chǎn)生靜電荷的生產(chǎn)流程。

泄放和中和 這是控制靜電三部曲的第二步，在微電子生產(chǎn)的凈化室中通常的措施（指針對(duì)問(wèn)題的解決辦法)是接地，采用導(dǎo)電性或耗散性材料泄放靜電荷，以及離子化消電器和靜電荷。

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1.通風(fēng)地板熱負(fù)荷輻射采暖系統(tǒng)的熱負(fù)荷應(yīng)按照現(xiàn)行的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)“采暖通風(fēng)及空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范”的有關(guān)規(guī)定，進(jìn)間的供暖熱負(fù)荷統(tǒng)計(jì)；

2.計(jì)算機(jī)房通風(fēng)地板輻射采暖系統(tǒng)的熱負(fù)荷時(shí)，室內(nèi)計(jì)算溫度的取值應(yīng)比對(duì)流采暖系統(tǒng)的室內(nèi)計(jì)算溫度低28攝氏度，或取對(duì)流采暖系統(tǒng)計(jì)算總熱負(fù)荷的百分之八十九到百分之九十三；

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它利用通風(fēng)地板的可調(diào)性消除地面的不平度，保證機(jī)房地面的整體水平度。同時(shí)還能使靜電荷漏泄至地，并反射電磁輻射。

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