實驗室氣體的危險性

1.有部分氣體具有毒、強腐蝕等特性，其一旦泄漏，就可能會對工作人員及儀器設(shè)備造成傷害；

2.多種氣體在同一個環(huán)境下使用，如果有兩種會發(fā)生燃燒或爆1炸等強烈化學反應的氣體同時泄漏，就可能對工作人員以及儀器設(shè)備造成傷害；

3.多數(shù)氣瓶出口壓力1高可達15MPa，即150公斤/cm2，如果發(fā)生氣瓶口減壓裝置失靈，就有可能將一些部件激1射出去，其能量對人體或設(shè)備都具有致命性的傷害。

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電子特氣系統(tǒng)的維護

由于特氣系統(tǒng)是一種具有高風險的供應系統(tǒng)，因此在生產(chǎn)線現(xiàn)場的維護需要專業(yè)、有經(jīng)驗的技術(shù)員完成。特氣系統(tǒng)的維護主要包含氣體柜維護和管路維護。

（1）特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜，每種氣柜的維護方法有一定的區(qū)別。全自動氣柜維護自動化程度較高，并且安全可靠。在維護前關(guān)閉鋼瓶閥門，設(shè)置換瓶吹掃，程序自動進行抽氣，置換等動作，根據(jù)氣體性質(zhì)的不同，一般至少吹掃60次以上，負壓保壓30分鐘以上，確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。實驗室的氣體的排放是非常重要的，如果說實驗室氣體管道設(shè)計不合理，工作人員就容易出事，甚至嚴重的就會有生命危險。

（2）管路的維護，由于不同的氣體性質(zhì)不一樣，對管路維護的方法也不相同，對腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮氣吹掃（N2purge），一般至少反復30次，對于有吸附性的液態(tài)源氣體，由于管路容易堵塞，需要多次的反復的抽真空，抽完后關(guān)閉閥門，1小時后會出現(xiàn)壓力表回表的現(xiàn)象，會造成管道泄漏的誤導，遇到此情況打開真空器發(fā)生器繼續(xù)抽，直到?jīng)]有吸附氣體釋放為止。使用者只需管理較少的氣瓶，支付較少的氣瓶租金，因為使用同一氣體的所有使用點來自于同一個氣源。

以上兩種系統(tǒng)維護后都必須做正壓與負壓的保壓測試，一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍，負壓保壓為-12PSI，保壓時間至少120分鐘以上，由于壓力傳感器（PT）受溫度的影響，一般有2PSI的正負波動。

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特種氣體的應用

電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險性質(zhì)可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。以上是由艾明坷科技有限公司發(fā)表內(nèi)容，如有需要，歡迎新老客戶蒞臨。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。

特種氣體的應用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20～30種。

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氦質(zhì)譜檢漏儀

真空檢漏的方法很多，氦質(zhì)譜檢漏儀的使用大大提升了檢漏工作效率。

漏孔是指真空器壁上存在的形狀不定、極其微小的空洞或間隙。大氣通過其進入真空系統(tǒng)或容器中；

漏率（漏氣速率）：是指單位時間內(nèi)通過漏孔或間隙流入到真空系統(tǒng)或容器的氣體量；

1小可檢漏率：是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測出來的1小漏率；

檢漏靈敏度：也叫有效靈敏度，指檢漏儀器在1佳工作狀態(tài)下能檢出的1小漏率；

反應時間：也稱響應時間，是指從檢漏方法開始實施（如噴射示漏氣體）到指示方法或儀器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%時所需要的時間；

消除時間：是指從檢漏方法停止（如停止噴吹示漏氣體）到指示方法或儀器指示值下降到漏孔泄漏率的37%時所需的時間；

漏孔堵塞現(xiàn)象：指由于真空檢漏作業(yè)操作不當導致塵?；蛞后w堵塞漏孔，檢漏時似乎不漏氣，但一經(jīng)排氣就會出現(xiàn)漏氣的一種現(xiàn)象。