廢氣處理設(shè)備在工作過程中是始末設(shè)備的差異裝置之間的相互作用完成廢氣處理的。廢氣處理設(shè)備的重點(diǎn)裝置包含下面幾種：

有機(jī)廢氣的燃燒設(shè)備。用適量的空氣將廢氣中的雜質(zhì)進(jìn)行燃燒，發(fā)生大量的二氧化碳和水蒸氣，如此便不妨處理了擁有高濃度的VOCs氣體的處理問題。

吸附裝置。進(jìn)入到處理設(shè)備的某些氣領(lǐng)會(huì)因特定的成分被附著在設(shè)備的內(nèi)部，始末吸附的重復(fù)作用，完成廢氣在設(shè)備中的重復(fù)再生，并抵達(dá)消除廢氣中傳然物并接管管中有用氣體的過程。

接管裝置。接管裝置主若是靠廢氣與VOCs之間的不溶解性完成廢氣的摒除。首先，含有的氣體進(jìn)入到廢氣處理設(shè)備的內(nèi)部，在廢氣回升的過程中與已有的氣體接觸，始末VOCs的不溶解性，將廢氣從廢氣處理設(shè)備的頂部摒除。

光催化設(shè)備。光催化設(shè)備可將有機(jī)物轉(zhuǎn)化成無毒亥產(chǎn)物。將半導(dǎo)體用作為光催化劑，獲取天然的光能，對(duì)廢氣處理設(shè)備中的廢氣進(jìn)行光能的處理，對(duì)可用資源進(jìn)行循環(huán)，無用的廢氣始末光能的處理后降低了污染并排入到空氣中。

廢氣處理設(shè)備維修保養(yǎng)方法：檢查、調(diào)整必要的零部件，調(diào)整各運(yùn)動(dòng)部件的間隙，更換易損件。緊固件和操縱裝置，廢氣處理設(shè)備做到齊全可靠。清掃、檢查、調(diào)整電器部分，廢氣處理設(shè)備，檢查電器接觸是否良好，接線是否牢固。

清洗油杯、油管、油標(biāo)、檢查油質(zhì)，按規(guī)定加油，做到油路暢通，油標(biāo)醒目。徹底清洗、擦拭廢氣處理設(shè)備內(nèi)外表面和死角部位，清除表面活動(dòng)毛刺，做到漆見本色，鐵見光、無油污。必要時(shí)對(duì)設(shè)備局部拆卸檢查、調(diào)整和修復(fù)。

保養(yǎng)應(yīng)達(dá)到外觀清潔，廢氣處理設(shè)備呈現(xiàn)本色，油路暢通，油鏡明亮，潤滑良好，設(shè)備磨損減少缺陷排除事故隱患消除，設(shè)備操作靈活，運(yùn)轉(zhuǎn)正常，保持完好狀態(tài)。

真空機(jī)組的選型

真空機(jī)組選型必定要慎重， 一般主泵極限壓力的選取要比真空室的極限壓力低半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)，更要依據(jù)整套真空體系的初次出資和日常維護(hù)費(fèi)用等經(jīng)濟(jì)指標(biāo)挑選主泵，不懂可以讓專用真空工程公司進(jìn)行選型出計(jì)劃。

1、真空泵組合，各種真空泵的功能不同，因而有時(shí)選用一種泵不能滿意抽氣要求，需求幾種泵組合起來，相互彌補(bǔ)才干滿意抽氣要求。

2、真空泵選型中，挑選主泵的時(shí)候應(yīng)正確地挑選主泵的作業(yè)工藝環(huán)境，在其作業(yè)壓力規(guī)模內(nèi)，應(yīng)能掃除真空室內(nèi)工藝過程中發(fā)生的悉數(shù)氣體量，因而，真空室內(nèi)的作業(yè)壓力必定要在主泵的蕞佳抽速壓力規(guī)模之內(nèi)。

3、真空泵選型中，真空室體積大小對(duì)體系抽到極限真空的時(shí)刻有影響，當(dāng)抽氣時(shí)刻要求必守時(shí)，若真空室體積越大，則主泵抽速也越大。

4、選型真空泵時(shí)，應(yīng)該知道被抽氣體成分，針對(duì)被抽氣體成分挑選相應(yīng)的真空泵。假如氣體中含有腐蝕性氣體、顆?；覊m等，則應(yīng)該考慮挑選干式真空泵、耐腐蝕真空泵等，或在泵的進(jìn)氣口管道上裝置輔助設(shè)備。

羅茨真空機(jī)組的工作壓力應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓力要求。

對(duì)羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力的要求，也是選擇前級(jí)泵必須考慮的，對(duì)極限真空度要求較高(達(dá)1×10-3Pa~1×10-2Pa壓力)一般選用雙級(jí)旋片式油封機(jī)械泵或雙級(jí)滑閻機(jī)械泵作為前級(jí)泵。極限真空度要求在(1×10-2Pa～1×10-1Pa)之間可選用單級(jí)油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵，極限真空度要求在133~1333pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級(jí)泵。

當(dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級(jí)泵時(shí)，前級(jí)泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否則將使壓縮比過大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。選用前級(jí)泵時(shí)還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì)，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體.就不能選用油封機(jī)械泵，油封機(jī)械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體，否則將會(huì)使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時(shí)，也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵。

為了獲得在低入口壓力(1-100pa)時(shí)的高的抽氣速率，可用一臺(tái)羅茨真空泵作為另一臺(tái)羅茨真空泵的前級(jí)泵組成的三級(jí)或四級(jí)機(jī)組，此時(shí)羅茨真空泵之問的抽速比一般在2~5之間。