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廠區(qū)環(huán)境的清潔要求是什么?
廠區(qū)環(huán)境的清潔要求是什么? 1)生產(chǎn)區(qū)、生活區(qū)、輔助區(qū)分開,物流分開。 2)廠區(qū)內(nèi)的清潔設(shè)備要清潔、曉暢,無堵塞物及排泄物,由專人及時打掃、消毒。 3)廠內(nèi)車輛及其他物品須放在規(guī)則區(qū)域,不得在其他當(dāng)?shù)厝我舛逊e。 4)廠區(qū)環(huán)境清潔規(guī)整,無雜草和積水、無蚊蠅孳,空氣質(zhì)量契合國家規(guī)則的大氣標(biāo)準(zhǔn)。 5)生產(chǎn)區(qū)內(nèi)無廢物和廢物,廠區(qū)外的廢物站有必要遠(yuǎn)離生產(chǎn)區(qū),有隔離消毒辦法,并及時清運,不對廠區(qū)環(huán)境形成污染。
常用的水冷式螺桿式冷水機(jī)組
潔凈室的冷熱源機(jī)組: 桿式冷水機(jī)組 螺桿式冷水機(jī)組是由螺桿式制冷壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器、熱力膨脹閥、油分離器、自控元件和儀表等組成的一個完整的制冷系統(tǒng)。常用的水冷式螺桿式冷水機(jī)組冷凝器進(jìn)出水溫分別設(shè)置為32℃、37℃,蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設(shè)置為7度,冷量范圍為580~1163kW。 離心式冷水機(jī)組 離心式冷水機(jī)組是由離心式制冷壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器、節(jié)流機(jī)構(gòu)和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)以及各種控制元件組成的整體機(jī)組。離心式冷水機(jī)組的制冷量較大,常用的水冷式離心式冷水機(jī)組冷凝器進(jìn)出水溫分別設(shè)置為32℃、37℃,蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設(shè)置為7度,單機(jī)容量通常在1163kW以上,所以,離心式冷水機(jī)組一般用于大型中央空調(diào)系統(tǒng)。 在潔凈工程技術(shù)水平上,80年代末期,國外已大量建成0.1微米級的超凈室,1987年日本三洋新瀉工場建成十級潔凈廠房3000平方米,NIT原木則建成了四個1000平方米控制0.1微米塵埃的千級廠房,換氣次數(shù)高達(dá)300次/分。美國在臺灣的TSMCS新廠已建成第四代管道式潔凈室總面積達(dá)10000平方米。
潔凈技術(shù)方向發(fā)展空氣分子污染
潔凈技術(shù)方向發(fā)展 空氣分子污染(Airborne Molecular Contaminants,AMC)作為IC工廠所關(guān)心的問題于20年前由日本人提出,近年來,世界IC技術(shù)發(fā)展迅速,IC芯片日益微型化。AMC對當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多,粒子污染控制只需要確定粒徑及個數(shù),但對AMC控制而言,除了受芯片線寬的縮小而變化外,并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子殘余對下一工序往往可能就是污染物。因此,IC生產(chǎn)過程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中,AMC已成為嚴(yán)重影響成品率的重要問題,AMC分子控制技術(shù)成為潔凈工程設(shè)計與施工建設(shè)的主流趨勢。目前,國內(nèi)的潔凈工程企業(yè)中已經(jīng)開始從事此方向的研究,在該領(lǐng)域比較的企業(yè)有亞翔集成,在分子凈化技術(shù)方面該公司已經(jīng)走在了同行業(yè)的前列,而中國電子工程設(shè)計院則在防微震方面。
風(fēng)淋室是人員進(jìn)入潔凈無塵車間所必備的凈化設(shè)備
風(fēng)淋室是人員進(jìn)入潔凈無塵車間所必備的凈化設(shè)備,通用性強(qiáng),可與所有的潔凈室和潔凈廠房配套使用,工作人員進(jìn)入車間時,必須通過此設(shè)備,用強(qiáng)勁潔凈的空氣,由可旋轉(zhuǎn)噴嘴從各個方向噴射至人身上,有效而迅速清除去附著在衣服上的灰塵、頭發(fā)、發(fā)屑等雜物,它可以減少人進(jìn)出潔凈室所帶來的污染問題。風(fēng)淋室的兩道門電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入潔凈區(qū)域。杜絕工作人員將頭發(fā),灰塵、細(xì)菌帶入車間,達(dá)到工作場地嚴(yán)格的無塵凈化標(biāo)準(zhǔn),生產(chǎn)出高質(zhì)量的產(chǎn)品。