凈化車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

　改變安徽車間凈化要求的溫濕度基數(shù)：維持安徽車間凈化達(dá)到一定的溫、濕度需耗用相應(yīng)的能量，提高要求的溫、濕度基礎(chǔ)可以節(jié)能能量，若空氣參數(shù)要求為22℃±2℃和35%-50%相對(duì)濕度，在夏季運(yùn)行中，如果安徽車間凈化內(nèi)空氣溫度控制在23℃，相對(duì)濕度控制在60%，此時(shí)凈化空調(diào)系統(tǒng)機(jī)器露出點(diǎn)即可由12.2℃提高到16.5℃，如果系統(tǒng)處理風(fēng)量按10000m3/H計(jì)，則運(yùn)行中可節(jié)省處理空氣的冷量消耗為36.27kWH，全天按16H計(jì)，則可節(jié)省冷量580.3kw/d。一個(gè)好的凈化工程公司可能會(huì)比一個(gè)普通的公司收取稍高的費(fèi)用，但是它可以為用戶保證很佳的工程效果。

潔凈室按規(guī)范要求都設(shè)置有消防給水、滅火設(shè)備和火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)，主要是為了及時(shí)發(fā)現(xiàn)火災(zāi)，將火災(zāi)事故消滅在初始階段。對(duì)于潔凈室由于其具有技術(shù)夾層和用于回風(fēng)空間的下夾層，我們?cè)诓贾脠?bào)警探頭時(shí)應(yīng)予考慮，這樣更有利于及時(shí)發(fā)現(xiàn)火情。進(jìn)車間操作具體步驟a．一更換鞋步驟：先打開門進(jìn)入一更后，立即關(guān)上門。同時(shí)，對(duì)于有大量精密和貴重設(shè)備的潔凈室，我們還可以引入vesda這種早期預(yù)警空氣采樣報(bào)警系統(tǒng)，比常規(guī)報(bào)警器提前3到4小時(shí)報(bào)警，大大提高了火災(zāi)的探測(cè)能力，從而達(dá)到及時(shí)發(fā)現(xiàn)，快速處理，將火災(zāi)損失減少到很低限度的要求。