雙工位氦檢漏系統(tǒng)構(gòu)成

（1）粗抽機組：一般采用旋片泵或者滑閥泵作為粗抽真空使用，獲得從一個大氣壓到千帕級真空，并為后續(xù)精抽真空作準(zhǔn)備。

（2）精抽機組：一般采用羅茨泵作為精抽真空使用，獲得檢漏要求的真空，一般為5Pa左右。

（3）檢漏儀：是檢漏系統(tǒng)中的部件，檢漏儀執(zhí)行檢漏工作時，給出工件泄露量大小，并判斷工件是否合格，輸出控制信號。

（4）耐壓測試單元：通過向工件內(nèi)充注高壓氣體，一方面測試工件的耐壓性能。另一方面通過平衡、保壓過程，有傳感器感測壓力差，并由控制系統(tǒng)經(jīng)過計算分析判斷是否有大漏。

（5）工件抽空單元：為保證氦氣有循環(huán)過程中氦氣的純度，在向工件充注氦氣之前，抽出工件內(nèi)的空氣。

不同真空范圍內(nèi)的抽氣時間計算

高真空-超高真空領(lǐng)域的抽氣時間計算

這里所指的高真空至超高真空領(lǐng)域，是指真空度在0.2Pa以下，對于高真空領(lǐng)域，要充分考慮容器壁以及容器內(nèi)物體的氣體放出，因此，抽氣時間和抽氣速度的計算方法和低真空領(lǐng)域不同。

p(t)———到達(dá)壓強；

Se———實際抽氣速度；

Ql———腔體漏氣量；

Qg(t)———腔體內(nèi)部放出氣體量；

p0———初期壓強。

氣體的放出量Qg(t)隨著時間t而減少。計算開始時，假定一個抽氣時間，根據(jù)當(dāng)時的放氣量來求得到達(dá)的真空度。如果計算結(jié)果p(t)和所需的真空度不一致，則重新假定時間，根據(jù)新假設(shè)時間的氣體放出量再次計算。不斷重復(fù)，終讓p(t)在所需的真空范圍內(nèi)。

高真空領(lǐng)域的抽氣時間計算遠(yuǎn)比低真空領(lǐng)域復(fù)雜。真空腔體的內(nèi)表面經(jīng)過酒精清洗和150～200℃烘烤處理的兩種情況下，后者的氣體放出會減少10%左右，因此使用同樣的抽氣泵所能到達(dá)的真空度也會更高一些。

真空腔體內(nèi)的部件形狀和材質(zhì)也極大地影響到達(dá)的真空度和抽氣時間。如果使用了樹脂類材料，則到達(dá)的真空度會比單純考慮金屬表面的氣體放出要差2～3個數(shù)量級。內(nèi)部使用螺釘時，螺紋部殘留的氣體隨著抽氣時間緩慢放出。為了加速螺紋部的氣體放出，要在螺釘中心穿孔，或在螺紋側(cè)面開一個出氣孔。因此，內(nèi)部構(gòu)造越復(fù)雜，影響真空的因素就越多，要獲得高真空，設(shè)計上就更需要經(jīng)驗。

不銹鋼焊接中存在的問題

不銹鋼材料的耐腐蝕的性能和耐高、低溫應(yīng)用的性能都是很好的，但是經(jīng)過焊接后的不銹鋼焊縫及其熱影響區(qū)的情況就大為不同了，它存在著裂紋、氣孔、脆化、晶粒粗大的現(xiàn)象。因此，在制造超高真空和一般的高真空容器時，必須十分重視這個問題。

奧氏體不銹鋼在焊接中及焊接后存在的問題主要有:

(1)焊縫中的熱裂縫。奧氏體不銹鋼焊接工藝中應(yīng)該注意的問題是焊縫金屬的熱裂縫(圖3-3)，在焊接熱影響區(qū)的晶界上析出鉻的碳化物以及產(chǎn)生焊接應(yīng)力。

真空系統(tǒng)設(shè)計（不銹鋼超高真空容器的焊接）

(a)焊縫中的縱向裂縫; (b)焊縫中的橫向裂縫; (c)焊縫中弧坑裂縫;(d)熱影響區(qū)內(nèi)的橫向裂縫; (e) 熱影響區(qū)內(nèi)的縱向裂縫

熱裂縫也稱為結(jié)晶裂縫，是在焊接熔池的一次結(jié)晶過程中，當(dāng)焊縫金屬處于固-液體狀態(tài)時形成的，它們是由于相鄰的晶體沿晶間夾層被分開的結(jié)果。

真空嚴(yán)密性試驗技術(shù)指導(dǎo)（汽機定期試驗）

1、操作危險點、安全措施和注意事項（按工作順序填寫與執(zhí)行）：

試驗時，如真空下降至85kPa或低壓缸排汽溫度超過57℃，應(yīng)停止試驗，啟動真空泵運行，恢復(fù)正常運行方式。

試驗時當(dāng)凝結(jié)水溫度大于45℃時，應(yīng)及時通知化學(xué)注意精處理運行情況。當(dāng)凝結(jié)水溫度大于50℃時，應(yīng)及時通知化學(xué)退出精處理運行。

2、試驗方法及步驟

得值長令，##號機組真空嚴(yán)密性試驗。

確定 ##號機組負(fù)荷大于80%，運行正常。

確定 ##號機組凝汽器真空應(yīng)大于90kPa以上。

確定真空泵良好，維持二臺運行，一臺作備用。

確定有關(guān)真空數(shù)值（就地、LCD及DEH）顯示均正常。

解除機組協(xié)調(diào)控制，且鍋爐燃燒穩(wěn)定。

記錄機組負(fù)荷、凝汽器排汽溫度、凝結(jié)水溫度、真空等有關(guān)數(shù)據(jù)。

解除備用真空泵的聯(lián)鎖。

關(guān)閉兩臺運行真空泵入口碟閥，并停止兩臺運行真空泵，30秒后開始記錄，每30秒記錄一次真空值。

8分鐘后試驗結(jié)束，立即啟動兩臺真空泵運行，檢查入口碟閥聯(lián)開正常。

取其中后5分鐘內(nèi)的平均值算出真空平均下降速度。真空嚴(yán)密性試驗結(jié)果（ ）kPa/min，試驗結(jié)果（ ）。

試驗結(jié)束，匯報值長并做好凝汽器真空嚴(yán)密性試驗結(jié)果的分析和記錄。