潔凈廠(chǎng)房使用驗(yàn)收后，應(yīng)編寫(xiě)使用驗(yàn)收?qǐng)?bào)告，其主要內(nèi)容有：

1 潔凈廠(chǎng)房中各種設(shè)施(包括生產(chǎn)工藝設(shè)備)等的開(kāi)啟狀態(tài)描述;

2 測(cè)試的潔凈室(區(qū))人員及其活動(dòng)情況的描述;

3 分項(xiàng)測(cè)試記錄及分析意見(jiàn)(包括測(cè)試點(diǎn)位置、座標(biāo)等);

4 測(cè)試儀器的有效校驗(yàn)證書(shū);

5 驗(yàn)收出具相關(guān)結(jié)論。

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對(duì)于半導(dǎo)體工業(yè)而言，無(wú)塵室是一必要且不可缺之設(shè)備，其對(duì)空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格，故對(duì)天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺(tái)車(chē)及重量的運(yùn)輸，而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學(xué)藥品，當(dāng)我們看見(jiàn)地板磨損時(shí)，也就是使用期已太久，快破了，不僅會(huì)使得清靜度的降級(jí)，也會(huì)因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。

清潔車(chē)間不同空氣潔凈度的空氣過(guò)濾器的選擇和布置：對(duì)于300,000級(jí)空氣凈化處理，可以使用亞過(guò)濾器代替過(guò)濾器; 100,10000和100000空氣的空氣潔凈度對(duì)于凈化處理，應(yīng)使用用于初級(jí)，中級(jí)和過(guò)濾器的三級(jí)過(guò)濾器;中效或空氣過(guò)濾器應(yīng)根據(jù)小于或等于額定風(fēng)量選擇;中效空氣過(guò)濾器應(yīng)集中在凈化空調(diào)的正壓段;應(yīng)在吹掃空調(diào)系統(tǒng)的末端放置或低效的空氣過(guò)濾器。