電子束簡(jiǎn)介

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電子經(jīng)過(guò)匯集成束。具有高能量密度。它是利用電子槍中陰極所產(chǎn)生的電子在陰陽(yáng)極間的高壓（25-300kV）加速電場(chǎng)作用下被加速至很高的速度（0.3-0.7倍光速），經(jīng)透鏡會(huì)聚作用后，形成密集的高速電子流。

電子束【釋義】：又稱(chēng)電子注。在真空匯集成束?？刹捎渺o電場(chǎng)聚焦,磁場(chǎng)聚焦等方法。電子顯微鏡和電視機(jī)就是利用電子束形成影像的。

電子束蒸鍍系統(tǒng)的特點(diǎn)

* 渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵

* pocket電子槍

* 電子束源和基片遮板

* 性能好的開(kāi)關(guān)電源，杰出的消弧性能

* 自動(dòng)Pocket索引以及可編程的掃描控制器

* 膜厚監(jiān)測(cè)，可設(shè)置目標(biāo)膜厚作為工藝終點(diǎn)條件

* 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，提供高均勻性

* 帶觀察視窗的腔門(mén)，便于放片/取片

* PC全自動(dòng)控制，具有高度的可重復(fù)性

* Labview軟件的計(jì)算機(jī)全自動(dòng)工藝控制控

* 多級(jí)密碼保護(hù)的授權(quán)訪問(wèn)設(shè)計(jì)

* EMO保護(hù)以及完全的安全聯(lián)鎖

以上就是為大家介紹的全部?jī)?nèi)容，希望對(duì)大家有所幫助。如果您想要了解更多電子束的知識(shí)，歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。