因而對實(shí)施高溫回火的熱作模具，如用高速鋼或4Cr4MoSiV（H13）鋼制模具可以得到表面硬度高、耐磨性好、耐熱沖擊性好、抗龜裂而又有韌性的綜合性能；但僅有擴(kuò)散層組織時，模具的抗咬合性、耐熔敷、熔損性能不夠好。由于模具或機(jī)械零件的服役條件和對性能的要求不一，在進(jìn)行表面熱處理時，必需調(diào)整表面層的組織和性能。真空滲氮除應(yīng)用于工模具外，對提高精密齒輪和要求耐磨耐蝕的機(jī)械零件以及彈簧等的性能都有明顯效果，可接受處理的材質(zhì)也比較廣泛。

真空熱處理爐是實(shí)現(xiàn)真空熱處理的重要設(shè)備。爐內(nèi)氣壓低于正常氣壓。爐內(nèi)氣氛相當(dāng)于一種氣體，可使熱處理工作不氧化。真空處理爐的用途很廣，主要用于結(jié)構(gòu)鋼、不誘鋼、耐熱合金、精密合金以及材料的真空回火，時效、退火、淬火，也可以用于真空除氣，釬焊和燒結(jié)等方面。（真空爐）

因此，選擇真空熱處理爐的需要注意以下幾點(diǎn)因素：

真空爐選擇要根據(jù)所要熱處理的零件化學(xué)成分和加熱溫度實(shí)現(xiàn)必須滿足金屬氧化物與一氧化tan平衡分解壓的關(guān)系并且要考慮一定的余地不要追求高的真空度真空度過高不僅會造成合金元素的揮發(fā)而且會造成設(shè)備的配置提高投資費(fèi)用增加。

主要指的是真空技術(shù)與熱處理技術(shù)相結(jié)合的新型熱處理技術(shù)，其中，真空熱處理所處的真空環(huán)境指的是低于一個大氣壓的氣氛環(huán)境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空等，所以，真空熱處理實(shí)際也屬于氣氛控制熱處理。

與常規(guī)熱處理相比，真空熱處理加工技術(shù)可同時實(shí)現(xiàn)無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達(dá)到表面光亮凈化的效果。

目前，對深冷升、降溫速度主要有兩種觀點(diǎn)。一種觀點(diǎn)認(rèn)為深冷的升降溫速度不能太快，即不贊成將工件直接浸入液氮中，因?yàn)榧だ鋵?dǎo)致工件內(nèi)部的應(yīng)力增大，易造成工件的變形或開裂。如日本的“深冷急熱法”，工件淬火后不馬上進(jìn)行冷處理，而是先放入水浴，再放入處理槽中在-80℃或-180℃下進(jìn)行冷處理，保溫一段時間后立即放人60C熱水浴中，使試樣快速回溫以減小內(nèi)應(yīng)力，然后選用不同溫度回火1h。