金剛石線切割設(shè)備

金剛石線切割設(shè)備成為研究和發(fā)展的主流趨勢，本文介紹國外硅片切割設(shè)備研究的新進展以及國內(nèi)發(fā)展狀況，并介紹筆者參與研制的金剛石環(huán)形線鋸機的功能、特點和設(shè)計心得體會及金剛石單線和環(huán)線切割機應(yīng)用前景展望。

目前，硬脆性材料，如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等，具有優(yōu)良、穩(wěn)定的物理和化學(xué)性能(如耐磨損性、抗腐蝕性、電絕緣性等)，在電子、光學(xué)及其它領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，特別是單晶硅、多晶硅、陶瓷材料被廣泛用于太陽能光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、真空電鍍等高精端產(chǎn)業(yè)中。電火花線切割的缺點有時某些工件可能會在表面出現(xiàn)裂紋、變形等問題。伴隨半導(dǎo)體、光伏材料技術(shù)的發(fā)展，需求量不斷增加，切割加工量大幅增長，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工難度較大。

多線切割機

近年來，由于國家的重視，將極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項課題列入國家重大科技專項，另外，國內(nèi)有關(guān)設(shè)備制造企業(yè)也看到了這個巨大的商機，大力投入人力物力開展艱苦的研制開發(fā)，先以模仿為主，逐漸轉(zhuǎn)向自主創(chuàng)新，研制出有自身知識產(chǎn)權(quán)的多線切割機。線切割過程中的速度調(diào)整：若設(shè)置的線切割速度與實際切割速度不匹配容易發(fā)生夾線，進而使金剛石線斷開，切割速度的設(shè)定沒有具體規(guī)定，一般根據(jù)經(jīng)驗選擇。

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金鋼線切割專用設(shè)備

目前，行業(yè)內(nèi)硅片生產(chǎn)企業(yè)進行金鋼線切割技術(shù)升級改造的方案主要有兩種：

1，,即在現(xiàn)有的傳統(tǒng)砂漿線設(shè)備基礎(chǔ)上，通過對設(shè)備內(nèi)部軟硬件進行升級改造，從而滿足金鋼線切割工藝。

2.改造方案是直接采購金鋼線切割專用設(shè)備。

基于金剛線本身性能與普通鋼線的差異，金剛線切割對切片機的設(shè)備提出了更高的要求。因此現(xiàn)有的主流砂漿線切割設(shè)備在不進行改造的前提下，不能使用金剛線切割。