干泵：國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。

在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的很好的工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應，泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏?？紤]達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。

萊寶真空泵SOGEVAC系列是單極油封式旋片泵。泵本身帶有防返油閥、氣鎮(zhèn)閥（選配）、出口過濾器、回油線路和和油冷卻回路。泵由直聯(lián)法蘭電機驅動。安裝在泵體中的偏心轉子）有三塊葉片，它們把泵分成三個隔室，每個隔室的容積隨轉子的旋轉周期性的變化。當轉子旋轉時，抽空腔的進氣部分容積擴大，將氣體從進氣口吸入，氣體經(jīng)過空氣濾芯，打開的防返油閥進入腔泵。當轉子進一步旋轉，葉片從吸入口將泵腔部分分開。這部分泵腔容積減少，氣體被壓縮。氣體在略高于大氣壓時經(jīng)過排氣閥從泵腔排出。