潔凈室具有風量大，空調系統(tǒng)風壓高，運行時間長等特點，故其能耗比一般建筑為大。因此，在設計中應考慮節(jié)能措施。一、能耗特點國外對普通辦公樓與一般潔凈廠房的風量作比較，其大致數(shù)值見表27.10-1。普通民用空調（如辦公樓、旅館）單位建筑面積的冷負荷在100~130w，而半導體廠房的冷負荷可能高達500~1000w/㎡。從符合因數(shù)來看：微電子生產車間的空調能耗中工藝而設備負荷、輸送負荷以及新風負荷主體，一般均占90％以上，圖27.10-1為某芯片（φ300mm）生產廠房冷負荷的成分組成。表27.10-2還給出了不同級別潔凈室的負荷組成供參考。另一個特點是：從全年來看所有季節(jié)均存在冷卻負荷，即其供冷季節(jié)長，這也是從整體上講其能耗大的原因。圖27.10-2即芯片生產廠房前工藝車間全年冷負荷一例。

無塵室（CleanRoom），也稱為潔凈室。潔凈室是指能將一定空間范圍內之空氣中的懸浮微粒、細菌等污染物排除，并將室內的溫濕度、潔凈度、壓力、氣流速度及靜電等影響生產之環(huán)境因素控制在某一設計需求范圍內，而給予特別設計的房間。不論外面空氣條件如何變化，其室內均能具有維持所設定的潔凈度、溫濕度及壓力等生產所需環(huán)境因素性能的特性。無塵室的污染來源污染源主要有四種：人員、空氣、表面、產品。人員的主要污染源主要來自于人體外細胞的正常脫落和著裝，另外人的嘴和鼻子也能污染空氣，說話、咳嗽、打噴嚏也能產生大量的微生物粒子，也是污染的關鍵。

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其次，要確保凈化手術室內的空氣都經過過濾、再循環(huán)（continue)和保鮮處理，這就牽涉到凈化手術室空調系統(tǒng)的設計與安裝的工程質量考核，進行這一環(huán)節(jié)的驗收需要具備專業(yè)的空調系統(tǒng)設計與安裝專業(yè)經驗（experience)。