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江蘇一六儀器 X射線熒光光譜測(cè)厚儀
性能特點(diǎn)
滿足各種不同厚度樣品以及不規(guī)則表面樣品的測(cè)試需求
φ0.1mm的小孔準(zhǔn)直器可以滿足微小測(cè)試點(diǎn)的需求
移動(dòng)平臺(tái)可定位測(cè)試點(diǎn),重復(fù)定位精度小于0.005mm
采用高度定位激光,可自動(dòng)定位測(cè)試高度
定位激光確定定位光斑,確保測(cè)試點(diǎn)與光斑對(duì)齊
鼠標(biāo)可控制移動(dòng)平臺(tái),鼠標(biāo)點(diǎn)擊的位置就是被測(cè)點(diǎn)
高分辨率探頭使分析結(jié)果更加精準(zhǔn)
良好的射線屏蔽作用
測(cè)試口高度敏感性傳感器保護(hù)
江蘇一六儀器 XTU系列 XTU-BL X熒光光譜儀
儀器規(guī)格:
外形尺寸 :550 mm x 660mm x 470 mm (長(zhǎng)x寬x高)
樣品倉(cāng)尺寸 :500mm×660 mm ×215mm (長(zhǎng)x寬x高)
儀器重量 :55kg
供電電源 :交流220±5V
功率 :330W
環(huán)境溫度:15℃-30℃
環(huán)境相對(duì)濕度:<70%
EDX是借助于分析試樣發(fā)出的元素特征X射線波長(zhǎng)和強(qiáng)度實(shí)現(xiàn)的, 根據(jù)不同元素特征X射線波長(zhǎng)的不同來測(cè)定試樣所含的元素。通過對(duì)比不同元素譜線的強(qiáng)度可以測(cè)定試樣中元素的含量。通常EDX結(jié)合電子顯微鏡使用,可以對(duì)樣品進(jìn)行微區(qū)成分分析。
常用的EDX探測(cè)器是硅滲鋰探測(cè)器。自動(dòng)型的設(shè)備完全由程序與自動(dòng)控制裝置實(shí)現(xiàn),其光斑對(duì)焦的重現(xiàn)性與準(zhǔn)確度都很高,而且使用非常簡(jiǎn)便(一般是與圖像采集系統(tǒng)與控制系統(tǒng)相結(jié)合的方式),一般只需要用鼠標(biāo)在圖像上點(diǎn)擊一下即可定位。當(dāng)特征X射線光子進(jìn)入硅滲鋰探測(cè)器后便將硅原子電離,產(chǎn)生若干電子-空穴對(duì),其數(shù)量與光子的能量成正比。利用偏壓收集這些電子空穴對(duì),經(jīng)過一系列轉(zhuǎn)換器以后變成電壓脈沖供給多脈沖高度分析器,并計(jì)數(shù)能譜中每個(gè)能帶的脈沖數(shù)。
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一六 熒光測(cè)厚儀 十年以上研發(fā)團(tuán)隊(duì) 集研發(fā)生產(chǎn)銷售一體
元素分析范圍:氯(CI)- 鈾(U) 厚度分析范圍:各種元素及有機(jī)物
一次可同時(shí)分析:23層鍍層,24種元素 厚度檢出限:0.005um
江蘇一六儀器 X射線熒光測(cè)厚儀工作原理
當(dāng)原子受到X射線光子(原級(jí)X射線)或其他微觀粒子的激發(fā)使原子內(nèi)層電子電離而出現(xiàn)空位,原子內(nèi)層電子重新配位,較外層的電子躍遷到內(nèi)層電子空位,并同時(shí)出次級(jí)X射線光子,此即X射線熒光。如果入射的X射線使某元素的K層電子激發(fā)成光電子后L層電子躍遷到K層,此時(shí)就有能量ΔE釋放出來,且ΔE=EK-EL,這個(gè)能量是以X射線形式釋放,產(chǎn)生的就是Kα射線,同樣還可以產(chǎn)生Kβ射線,L系射線等。較外層電子躍遷到內(nèi)層電子空位所釋放的能量等于兩電子能級(jí)的能量差,因此,X射線熒光的波長(zhǎng)對(duì)不同元素是特征的,根據(jù)元素X射線熒光特征波長(zhǎng)對(duì)元素做定性分析,根據(jù)元素釋放出來的熒光強(qiáng)度,來進(jìn)行定量分析如元素厚度或含量分析。
根據(jù)色散方式不同,X射線熒光分析儀相應(yīng)分為X射線熒光光譜儀(波長(zhǎng)色散)和X射線熒光能譜儀(能量色散)。X射線熒光光譜儀主要由激發(fā)、色散、探測(cè)、記錄及數(shù)據(jù)處理等單元組成。激發(fā)單元的作用是產(chǎn)生初級(jí)X射線。它由高壓發(fā)生器和X光管組成。江蘇一六儀器X射線熒光光譜測(cè)厚儀產(chǎn)品配置X光金屬鍍層測(cè)厚儀標(biāo)準(zhǔn)配置為:X射線管,正比計(jì)數(shù)器﹨半導(dǎo)體探測(cè)器,高清攝像頭,高度激光,信號(hào)檢測(cè)電子電路。后者功率較大,用水和油同時(shí)冷卻。色散單元的作用是分出想要波長(zhǎng)的X射線。它由樣品室、狹縫、測(cè)角儀、分析晶體等部分組成。通過測(cè)角器以1∶2速度轉(zhuǎn)動(dòng)分析晶體和探測(cè)器,可在不同的布拉格角位置上測(cè)得不同波長(zhǎng)的X射線而作元素的定性分析。探測(cè)器的作用是將X射線光子能量轉(zhuǎn)化為電能,常用的有蓋格計(jì)數(shù)管、正比計(jì)數(shù)管、閃爍計(jì)數(shù)管、半導(dǎo)體探測(cè)器等。記錄單元由放大器、脈沖幅度分析器、顯示部分組成。通過定標(biāo)器的脈沖分析信號(hào)可以直接輸入計(jì)算機(jī),進(jìn)行聯(lián)機(jī)處理而得到被測(cè)元素的含量。
產(chǎn)品配置
X光金屬鍍層測(cè)厚儀標(biāo)準(zhǔn)配置為:X射線管,正比計(jì)數(shù)器﹨半導(dǎo)體探測(cè)器,高清攝像頭,高度激光,信號(hào)檢測(cè)電子電路。
性能指標(biāo)
X射線激發(fā)系統(tǒng) 垂直上照式X射線光學(xué)系統(tǒng)
空冷式微聚焦型X射線管,Be窗
標(biāo)準(zhǔn)靶材:Rh靶;任選靶材:W、Mo、Ag等
X射線管:管電壓50KV,管電流1mA
可測(cè)元素:CI~U
檢測(cè)器:正比計(jì)數(shù)管
樣品觀察:CCD攝像頭
測(cè)定軟件:薄膜FP法、檢量線法
Z軸程控移動(dòng)高度 20mm