在金屬晶粒中可產(chǎn)生更均勻、更微小，且?guī)в懈竺芏鹊奈⑿〔牧辖M織；

由于有附加微碳化物粒子和更細(xì)密的晶格，故導(dǎo)致了更密集的分子結(jié)構(gòu)，使材料內(nèi)部微小的空洞被大大減少；

材料經(jīng)超低溫處理后內(nèi)部熱應(yīng)力和機(jī)械應(yīng)力大為降低，從而有效地減少了造成工具和刀具產(chǎn)生裂紋、崩刃的可能性。此外，由于刀具中的殘余應(yīng)力影響切削刃吸收動(dòng)能的能力，經(jīng)過(guò)超低溫處理的刀具不僅具有較高的抗磨性，而且其自身的殘余應(yīng)力的危害也比未經(jīng)處理的刀具大大降低；

在被處理的硬質(zhì)合金中，由于其電子動(dòng)能的減少而使分子結(jié)構(gòu)產(chǎn)生新的組合。

鋼的碳氮共滲：碳氮共滲是向鋼的表層同時(shí)滲入碳和氮的過(guò)程。習(xí)慣上碳氮共滲又稱(chēng)為qing化，目前以中溫氣體碳氮共滲和低溫氣體碳氮共滲（即氣體軟氮化）應(yīng)用較為廣泛。中溫氣體碳氮共滲的主要目的是提高鋼的硬度，耐磨性和疲勞強(qiáng)度。低溫氣體碳氮共滲以滲氮為主，其主要目的是提高鋼的耐磨性和抗咬合性。

調(diào)質(zhì)處理：一般習(xí)慣將淬火加高溫回火相結(jié)合的熱處理稱(chēng)為調(diào)質(zhì)處理。調(diào)質(zhì)處理廣泛應(yīng)用于各種重要的結(jié)構(gòu)零件，特別是那些在交變負(fù)荷下工作的連桿、螺栓、齒輪及軸類(lèi)等。

隨著相關(guān)技術(shù)的不斷進(jìn)步，不僅真空熱處理設(shè)備取得了較大的發(fā)展，與其相關(guān)的配套設(shè)施也取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步。目前我國(guó)已經(jīng)能夠生產(chǎn)各個(gè)種類(lèi)的真空泵、真空閥、真空測(cè)量?jī)x器等，甚至一些以前無(wú)法實(shí)現(xiàn)自主生產(chǎn)的配套產(chǎn)品也實(shí)現(xiàn)了自產(chǎn)(如爐內(nèi)使用的由金屬和石墨材質(zhì)制成的保溫層和發(fā)熱元件等)，并且其性能和質(zhì)量已經(jīng)接近或已達(dá)到了國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品的水平。相關(guān)配套產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展有效地促進(jìn)了我國(guó)真空熱處理水平的整體進(jìn)步。

（1）難熔金屬的退火。鉬、鎢、鉭、鈷、釩、錯(cuò)等金屬熔點(diǎn)高，易氧化，易被耐火材料污染，加工時(shí)強(qiáng)度和硬度高。如果其中含有氫、氧、氮等氣體，材料的延展性就會(huì)變差。為了將它們變成型材，它們必須在真空退火后軟化，然后進(jìn)行壓制加工。

(2）軟磁合金退火。軟磁合金一般通過(guò)真空熔煉和真空軋制獲得，因?yàn)樗跍囟取毫?、輻射和機(jī)械載荷的作用下必須具有穩(wěn)定的磁性，所以需要進(jìn)行真空退火處理