目前氦檢技術(shù)在空調(diào)兩器生產(chǎn)中的應(yīng)用情況

由于氦質(zhì)譜檢漏儀具有靈敏度高、反應(yīng)快、度高、準(zhǔn)確定位、安全等優(yōu)勢，其它水檢等檢漏方法已逐步被取代。目前空調(diào)器生產(chǎn)用氦氣做示蹤氣體的氦檢漏方法包括吸法和真空箱檢漏法。

吸氦檢法是在工件內(nèi)充入氦氣，用氦質(zhì)譜檢漏儀的吸嘴在待檢工件表面掃描，吸吸入的氣體經(jīng)節(jié)流后流入檢漏儀質(zhì)譜室，根據(jù)檢出的氦氣分壓強的大小來判斷漏孔的有無和大小。這種方法具有較高的精度。但它也有其明顯的不足之處。①需要逐步檢漏漏點，而空調(diào)器的焊點多達幾百處，所以單獨使用效率低；②吸法的精度與多種因素有關(guān)，如果吸與漏孔距離大于10mm時，所檢漏率只有實際漏率的3~5%，如果吸的移動速度達到16mm/s，靈敏度將降到30%。由此可見，操作不當(dāng)極易產(chǎn)生漏檢；③吸法只能測單個漏點是否超標(biāo)，而不能判斷整體漏率情況。因以上幾點不足，實際生產(chǎn)中，吸法一般配合真空箱法使用，當(dāng)真空箱法檢出不合格工件時，用吸法來找出不合格件的漏點所在。真空箱法是將充有氦氣的工件放入箱內(nèi)，然后對箱內(nèi)抽真空，用氦質(zhì)譜檢漏儀探測真空箱內(nèi)的氦氣質(zhì)量，推算出工件的實際氦漏率，該方法檢漏便于迅速判斷工件有無泄漏，可以稱為“把關(guān)式”檢漏法。在正常情況下，可以保證不漏檢，真空箱設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀精度可以達到10-12Pa.m3.s-1(He)。實際生產(chǎn)中，由于考慮生產(chǎn)節(jié)拍（20~30秒），一般可以檢漏率為4X10-7Pa.m3.s-1。相當(dāng)于0.5g/年（R22的漏率），完全滿足家用空調(diào)器的檢漏需要。真空箱氦檢法的缺點是不能發(fā)現(xiàn)工件的具體漏點，所以需增加吸法來找出不合格件的具體漏點。

真空箱檢漏法。

真空泄漏中的實漏、虛漏、外漏、內(nèi)漏

大部分真空系統(tǒng)的表現(xiàn)會隨時間的推移而變化，特別是用于生產(chǎn)的真空設(shè)備，幾乎不可避免地會發(fā)生真空度下降等問題，造成這些問題的一個很常見的原因就是泄漏。

定期的泄漏檢測很重要

大的泄漏通常會非常明顯：真空腔體壓力未按正常速度下降，或者極限壓力明顯高于正常值。然而，有些時候，由于真空泵可以輕松處理泄漏氣體造成的氣載，小的泄漏很難被發(fā)現(xiàn)，這時，即使真空計的讀數(shù)仍然在正常的水平，泄漏的出現(xiàn)仍有可能為真空腔體帶來期望之外的氣體（如氧氣），這些氣體有時候會對工藝過程（比如某些鍍膜工藝）帶來非常嚴(yán)重的影響。所以，無論真空系統(tǒng)的壓力是否有明顯下降，都應(yīng)該定期進行泄漏檢測。

如何判斷真空系統(tǒng)是否存在真實的泄漏

壓降曲線分析

真空系統(tǒng)的歷史數(shù)據(jù)是了解大型真空系統(tǒng)性能的有價值的工具之一，經(jīng)驗豐富的技術(shù)人員會精心地保留歷史數(shù)據(jù)，通過將當(dāng)前的壓降曲線與系統(tǒng)處于良好狀態(tài)時的上一個循環(huán)進行比較就可以快速的判斷問題原因。比如，通過下圖所示的壓降曲線，就可以判斷是否存在泄漏。

工藝條件不變并且真空泵運行正常的情況下，如果存在真實的泄漏，從外部漏入腔室的氣體將導(dǎo)致腔體的壓力下降到比正常極限壓力偏高的位置時便不再下降或下降極慢，壓降曲線類似于上圖上方曲線。存在放氣或虛漏時，氣體緩慢釋放并且放氣率越來越小，系統(tǒng)能達到原來的極限壓力但是達到極限壓力的時間明顯變慢，壓降曲線與上圖中間那條曲線類似。