Parylene氣相沉積涂敷工藝

　 在微電子領域，近些年Parylene應用發(fā)展較快，真空氣相沉積制備的Parylene不僅可制精細尺寸的涂層，而且該涂層可用微電子的加工工藝進行刻蝕加工圖形。它除了作為微電子器件鈍化材料、引線加固封裝材料外，在微米以下超大規(guī)模集成電路制作中,還作為一種低介電常數材料用作集成電路的介電材料,特別是氟代Parylene，更被國外集成電路研究者所青睞，用作多層集成超大規(guī)模集成電路的層間絕緣介質。 　　 　　Parylene氣相沉積涂敷工藝涂敷時，在工作上有很強的滲透性，能滲透到SMT貼片工件的底部和工作表面疏松的毛細孔中，真正形成完全敷形，均勻一致的防護涂層。Parylene氣相沉積涂敷工藝沒有溶劑、助劑，即使在0.1微米厚也沒有，氣態(tài)小分子在工作表面直接聚合成固態(tài)的涂層薄膜，沒有通常涂層的固化過程和固化引起的收縮應力，對工件能進行表面加固，但不會引起傷害，也沒有因表面張力而引起的涂層彎月面狀不均勻。

Parylene涂層自身的特性

Parylene涂層自身的特性決定了它往往具有非常神奇的應用，可以說只有想不到的地方，沒有用不到的之處。這需要充分發(fā)揮我們從業(yè)者需求者的聰明才智，才可以充分發(fā)揮出Parylene自身的潛能。1、Parylene本身具備的防護特性，防鹽霧，防氧化，防潮濕等 “三防”性能優(yōu)異，且極耐強酸強堿，而涂敷過程不飽和分子級自由基可以說無孔不入，注定parylene涂層是很好的部件內孔腔甚至不銹鋼管道內防腐涂層,尤其在極其惡劣的強酸強堿環(huán)境中對相關部件進行強化防護，以盡可能延長其使用壽命，而大大降低因頻繁更換相應部件而導致的大量的成本浪費。2、對磁鐵鑄件外殼和其它內部金屬磁盤驅動部件進行涂敷可以固定微小的金屬顆粒和其它玷染物，否則對于很小容忍度的產品來說，其部件就可能發(fā)生故障。

parylene鍍膜技術廣泛

parylene鍍膜技術廣泛用于航空航天、電路板、led 、磁性材料、傳感器、硅橡膠、密封件、、珍貴等領域;經parylene涂敷后的產品具有極高的絕緣強度和耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防潮、防銹、透明、防水、抗老化、生物相容性等作用; ptp-7納米真空氣相鍍膜機采用plc控制系統(tǒng)，全彩觸摸屏人機對話界面，自動調整蒸發(fā)速度，保證沉積壓力的均勻性。兩套氣缸裝置，方便鍍膜前產品的放置，無需徒手搬運。配置真空羅茨泵，加快抽速，提高鍍膜效率。鍍膜室容量加大，適合大批量生產和尺寸大的產品，減少鍍膜成本。 真空脫氣爐ptd-6h對于因產品表面的水汽等原因造成抽真空速度慢，產品附著力不好等問題，真空脫氣爐通過沖入氮氣，并給氮氣加熱來脫出真空腔體內的空氣等，可以大大縮短鍍膜前抽真空的時間，也降低真空鍍膜系統(tǒng)內的有氧腐蝕，延長設備使用壽命。

       作為電子電路的防護涂層，Parylene不需另加防霉劑，自己防霉能達零級。在鹽霧實驗中，與其它涂層相比，Parylene防護的電路電阻幾乎不降落，其它涂層則都有較大的降落。很薄的Parylene涂層能提供的防護性能，還有利于電路板工作熱量的消失，因此作為防護涂層Parylene能使電路具有更高的可靠性，分外是小型高密集度電子電路的防護，Parylene更表現出其獨到的上風。