DWS型電容測微儀是電容不接觸式通用性精密測量儀器，它既是測振儀，又是測微儀，既能測量動態(tài)位移，又能測量靜態(tài)位移，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦，無磨損和無惰性特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點，在科學(xué)院、工程院、航天、航空、高等院校、研究所、工廠得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種不可缺少的測試儀器。外差干涉測量技術(shù)具有高的位相分辨率和空間分辨率，如光外差干涉輪廓儀具有0。儀器遠銷國內(nèi)外，收到國內(nèi)外用戶的一致好評。

1981年美國IBM公司研制成功的掃描隧道顯微鏡(STM)，將人們帶到了微觀世界。STM具有極高的空間分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分別達到0.1?nm和0.01?nm，即可分辨出單個原子)，廣泛應(yīng)用于表面科學(xué)、材料科學(xué)和生命科學(xué)等研究領(lǐng)域，在一定程度上推動了納米技術(shù)的產(chǎn)生和發(fā)展。電容式非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移，測量精度為納米級。與此同時，基于STM相似原理與結(jié)構(gòu)，相繼產(chǎn)生了一系列利用探針與樣品的不同相互作用來探測表面或界面在納米尺度上表現(xiàn)出來性質(zhì)的掃描探針顯微鏡(SPM)，用來獲取通過STM無法獲取的有關(guān)表面結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的各種信息。