真空熱處理不僅是某些特殊合金熱處理的必要手段,而且在一般工程用鋼的熱處理中也獲得應(yīng)用,特別是工具、模具和精密耦件等。眾所周知零件經(jīng)真空熱處理后,畸變小,質(zhì)量高,且工藝本身操作靈活,無公害。此外,真空加熱爐可在較高溫度下工作,且工件可以保持潔凈的表面,因而能加速化學(xué)熱處理的吸附和反應(yīng)過程。因此,某些化學(xué)熱處理,如滲碳、滲氮、滲鉻、滲硼,以及多元共滲都能得到更快、更好的效果。

不氧化、不脫碳、不增碳對工件內(nèi)部和外表有杰出的的保護效果。氧化使金屬外表失去光澤，外表粗糙度增加，精度下降，而且鋼外表氧化皮往往是構(gòu)成淬火軟點和淬火開裂的本源，氧化使鋼件強度下降，其他力學(xué)功能下降。而真空熱處理因為金屬是在必定的真空度下加熱，工件避免了與氧氣觸摸，工件沒有氧化，無脫碳，可以得到亮光的外表及較好的熱處理質(zhì)量，一起在真空狀況下，也不會產(chǎn)生復(fù)原反響，也就不會產(chǎn)生增碳的現(xiàn)象。

工件變形小。一般來說，被處理的工件在爐內(nèi)靠熱輻射加熱，內(nèi)外溫差較小，熱應(yīng)力小，因此決定了真空熱處理工藝處理的零件變形小，一起在真空下加熱和在真空下淬火，主動完成，避免了熱態(tài)下工件在空氣中的搬運，削減了人為加工變形，提高了產(chǎn)品合格率。

可削減工件含金元素揮發(fā)性。真空熱處理能在可控氣氛下加熱和真空淬火，從而削減了工件含金元素揮發(fā)性，保證了工件的熱處理質(zhì)量。

熱處理的節(jié)能潛力很大，如何采取措施來加強節(jié)能是擺在每一位熱處理工作者面前的重要課題。目前熱處理節(jié)能的措施主要有以下十一種：7、離子化學(xué)熱處理　　它是一種在低于一個大氣壓的含有欲滲元素的氣相介質(zhì)中，利用工件（陰極） 和陽極之間產(chǎn)生輝光放電同時滲入欲滲元素的化學(xué)熱處理工藝。如離子滲氮、 離子滲碳、離子滲硫等，具有滲速快、質(zhì)量好、節(jié)能等優(yōu)點。