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工業(yè)四氟化碳-純度高

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發(fā)布時間:2020-10-30 06:45  






四氟化碳物理性質(zhì) :

   熔點-183.6℃,

   分子式是CF4,

  沸點-128.1℃,

  液體密度(-130℃)1.613g/cm3,

  液體折光率(-173℃)1.515,

  固體轉(zhuǎn)變點72.2K,

  臨界溫度-45.67℃,

  臨界壓力3.73MPa,

   蒸氣壓(-150.7℃)13.33kPa

  介電常數(shù)(25℃,0.5MPa)1.0006

  臨界密度:7.1dm3/mol

  標準摩爾自由能:-929.84 kJ/mol

  標準摩爾生成自由能:-887.41 kJ/mol

   危險性類別:第2.2類不燃氣體




四氟化碳是可作為氟和自由基氟化碳的來源,用于各種晶片蝕刻工藝。四氟化碳和氧結(jié)合用以蝕刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四氟化碳也一樣,比如我們公司生產(chǎn)的鋼瓶裝四氟化碳在14MPA的氣壓下也是液態(tài)的,在正常大氣壓下就是氣態(tài)的,四氟化碳是有一定毒性的應(yīng)該不能用作呼吸。產(chǎn)品經(jīng)除塵,堿洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等雜質(zhì)、再經(jīng)脫水可獲得含量約為85%的粗品。將粗品引入低溫精餾釜中進行間歇粗餾,通過控制精餾溫度,除去O2、N2、H2,得到高純CF4。





以活性炭與氟為原料經(jīng)氟化反應(yīng)制備。在裝有活性炭的反應(yīng)爐中,緩緩通入高濃氟氣,并通過加熱器加熱、供氟速率和反應(yīng)爐冷卻控制反應(yīng)溫度。四氟化碳,又稱為四氟甲1烷、Freon-14及R 14,是一種鹵代烴(化學式:CF4)。它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲1烷、全氟化碳,也可以被視為一種無機化合物。它在大氣中的壽命約為50,000年,全球增溫(全球暖化)系數(shù)是6,500(二氧化碳的系數(shù)是1)。雖然結(jié)構(gòu)與氟氯烴相似,但四氟化碳不會破壞臭氧層。




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