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質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介
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使用范圍: 質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。
特點(diǎn):流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過(guò)沖小。
流量控制器的工作原理
流量控制器(流量計(jì))利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成,即熱分布式流量計(jì)(Thermal Profile Flowmeter)。 采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大,然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較,用所得的差值信號(hào)放大去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門(mén)。通過(guò)實(shí)時(shí)的流量檢測(cè)閉環(huán),去控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
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MFC質(zhì)量流量控制簡(jiǎn)介
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MFC為Mass Flow Controller的縮寫(xiě),即質(zhì)量流量控制。流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動(dòng)時(shí)會(huì)對(duì)管壁產(chǎn)生一個(gè)力,它是科里奧利在1832年研究水輪機(jī)時(shí)發(fā)現(xiàn)的,簡(jiǎn)稱(chēng)科氏力。質(zhì)量流量計(jì)以科氏力為基礎(chǔ),在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管,中部裝有驅(qū)動(dòng)線圈,兩端裝有拾振線圈,變送器提供的激勵(lì)電壓加到驅(qū)動(dòng)線圈上時(shí),振動(dòng)管作往復(fù)周期振動(dòng),工業(yè)過(guò)程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動(dòng)管,就會(huì)在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng),使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動(dòng),安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號(hào),這兩個(gè)信號(hào)差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計(jì)算機(jī)解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時(shí),振管的主振頻率不同,據(jù)此解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測(cè)量介質(zhì)的溫度。
質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量
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質(zhì)量流量計(jì)直接測(cè)量通過(guò)流量計(jì)的介質(zhì)的質(zhì)量流量,還可測(cè)量介質(zhì)的密度及間接測(cè)量介質(zhì)的溫度。由于變送器是以單片機(jī)為核心的智能儀表,因此可根據(jù)上述三個(gè)基本量而導(dǎo)出十幾種參數(shù)供用戶(hù)使用。質(zhì)量流量計(jì)組態(tài)靈活,功能強(qiáng)大,性能價(jià)格比高,是新一代流量?jī)x表。
質(zhì)量流量計(jì)可分為兩類(lèi):一類(lèi)是直接式,即直接輸出質(zhì)量流量;另一類(lèi)為間接式或推導(dǎo)式,如應(yīng)用超聲流量計(jì)和密度計(jì)組合,對(duì)它們的輸出再進(jìn)行乘法運(yùn)算以得出質(zhì)量流量。
直接式質(zhì)量流量計(jì)有多種類(lèi)型,如量熱式、角動(dòng)量式、陀螺式和雙葉輪式等。